반도체 및 디스플레이 전공정 장비와 소재를 제조 및 판매하는 전문 기업 [33, 13]. 특히 화학적 기계적 연마(CMP) 장비와 핵심 소모품인 슬러리 분야에서 독보적인 기술력과 국산화 역량을 보유한 기업 [13].반도체및디스플레이전공정장비와소재를제조및판매하는전문기업[33,13].특히화학적기계적연마(CMP)장비와핵심소모품인슬러리분야에서독보적인기술력과국산화역량을보유한기업[13].
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
반도체 장비: Chemical Mechanical Polishing (CMP) 장비, Wet Cleaning System, 제조용 가스 공급장치, 진공펌프, 가스 정화장비 [데이터베이스, 2, 11, 18]. CMP 장비로는 '벤투스(Ventus)' 시스템, 300mm 'Wezen BF' (Front Type), 300mm 'Wezen BS' (Ⅰ Type) 모델 보유 [5, 11]. K-3000 Single Spin Processor는 8개 또는 12개의 개별 챔버에서 약액 처리, 린스, 건조 공정 진행 가능 [11]. CMP 장비는 W, Cu, OXIDE 애플리케이션 지원, 듀얼 폴리싱 및 클리너, 캐리어 이동 트랙 시스템, 4FOUP, 1 Metrology 스펙 제공 [18]. Wet Cleaning System은 300mm 실리콘 웨이퍼 양면의 미세 오염 물질 제거에 특화된 장비 [11, 18].반도체장비:ChemicalMechanicalPolishing(CMP)장비,WetCleaningSystem,제조용가스공급장치,진공펌프,가스정화장비[데이터베이스,2,11,18].CMP장비로는'벤투스(Ventus)'시스템,300mm'WezenBF'(FrontType),300mm'WezenBS'(ⅠType)모델보유[5,11].K-3000SingleSpinProcessor는8개또는12개의개별챔버에서약액처리,린스,건조공정진행가능[11].CMP장비는W,Cu,OXIDE애플리케이션지원,듀얼폴리싱및클리너,캐리어이동트랙시스템,4FOUP,1Metrology스펙제공[18].WetCleaningSystem은300mm실리콘웨이퍼양면의미세오염물질제거에특화된장비[11,18].
디스플레이 장비: Wet Station, Atmospheric Pressure Plasma Cleaner (APP), CO2 Cleaner, Coater & Track System [데이터베이스, 2, 18, 26]. APP Cleaner는 기판 표면의 유기물 제거 및 활성화 기술 적용 [18]. CO2 Cleaner는 저온 드라이아이스 스노우 입자 분사 방식의 친환경 세정 모듈 [18]. Coater & Track System은 LCD, LTPS, OLED, Flexible 디스플레이 생산 라인에서 PR 및 기타 코팅 재료의 균일 도포 시스템 [18].디스플레이장비:WetStation,AtmosphericPressurePlasmaCleaner(APP),CO2Cleaner,Coater&TrackSystem[데이터베이스,2,18,26].APPCleaner는기판표면의유기물제거및활성화기술적용[18].CO2Cleaner는저온드라이아이스스노우입자분사방식의친환경세정모듈[18].Coater&TrackSystem은LCD,LTPS,OLED,Flexible디스플레이생산라인에서PR및기타코팅재료의균일도포시스템[18].
소재: Dielectric Slurry & Additive, Metal Slurry [데이터베이스, 2, 18, 19]. Ceria Slurry는 80nm~300nm 입자와 초순수 및 Chemical이 혼합된 현탁액으로 연마 대상 막질의 화학적 기계적 연마 역할 [19, 20]. Silica Slurry는 Metal Contact / Plug & Poly 공정에 사용되는 콜로이달 실리카와 기능성 케미컬 혼합 현탁액 [19, 20]. Post CMP Cleaning Chemical은 CMP 후 잔존하는 연마 입자, 유기 잔류물, 금속 불순물 등을 효과적으로 제거하는 친환경 기능성 세정 케미컬 [19].소재:DielectricSlurry&Additive,MetalSlurry[데이터베이스,2,18,19].CeriaSlurry는80nm~300nm입자와초순수및Chemical이혼합된현탁액으로연마대상막질의화학적기계적연마역할[19,20].SilicaSlurry는MetalContact/Plug&Poly공정에사용되는콜로이달실리카와기능성케미컬혼합현탁액[19,20].PostCMPCleaningChemical은CMP후잔존하는연마입자,유기잔류물,금속불순물등을효과적으로제거하는친환경기능성세정케미컬[19].
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
장비 및 소재 통합 솔루션 제공: 전 세계적으로 소수 기업만이 가능한 CMP 장비와 슬러리를 동시에 공급하는 '토탈 솔루션' 제공 역량 [13, 28]. 장비와 재료 간의 시너지를 극대화하여 고객사에게 통합된 공정 솔루션 제공, 수율 향상 및 비용 절감 기여 [13].장비및소재통합솔루션제공:전세계적으로소수기업만이가능한CMP장비와슬러리를동시에공급하는'토탈솔루션'제공역량[13,28].장비와재료간의시너지를극대화하여고객사에게통합된공정솔루션제공,수율향상및비용절감기여[13].
국내 유일의 CMP 장비 및 슬러리 국산화: 반도체 핵심 공정인 CMP 장비를 국내에서 유일하게 개발 및 양산 중 [5, 10, 22]. CMP 장비와 슬러리 소재 부문에서 국내 점유율 50% 이상을 차지하는 시장 선도 기업 [36].국내유일의CMP장비및슬러리국산화:반도체핵심공정인CMP장비를국내에서유일하게개발및양산중[5,10,22].CMP장비와슬러리소재부문에서국내점유율50%이상을차지하는시장선도기업[36].
지속적인 연구개발 및 기술 혁신: 1987년 설립 이래 기술개발과 고객만족을 바탕으로 지속적인 R&D 투자, 기술 포트폴리오 확장 노력 [3, 9, 13, 31, 32]. 차세대 HBM 패키징의 필수 기술인 하이브리드 본딩 및 유리기판 글라스 코어용 장비 개발을 통한 기술 선도 [4]. 신규 CMP 장비 '벤투스' 시스템은 기존 대비 생산성 20% 향상 및 최대 12개의 세척 챔버를 갖춘 모듈형 설계로 고객 맞춤형 구성 가능 [5, 7, 28].지속적인연구개발및기술혁신:1987년설립이래기술개발과고객만족을바탕으로지속적인R&D투자,기술포트폴리오확장노력[3,9,13,31,32].차세대HBM패키징의필수기술인하이브리드본딩및유리기판글라스코어용장비개발을통한기술선도[4].신규CMP장비'벤투스'시스템은기존대비생산성20%향상및최대12개의세척챔버를갖춘모듈형설계로고객맞춤형구성가능[5,7,28].
고객 중심의 긴밀한 파트너십: 주요 고객사와의 공동 개발 프로그램(JDP)을 통한 기술 역량 강화 및 제품 신뢰 구축 [7, 8, 28]. 고객의 고도로 전문화되고 끊임없이 진화하는 요구사항에 맞춰 장비와 재료를 맞춤 제작하는 능력 [8, 28].고객중심의긴밀한파트너십:주요고객사와의공동개발프로그램(JDP)을통한기술역량강화및제품신뢰구축[7,8,28].고객의고도로전문화되고끊임없이진화하는요구사항에맞춰장비와재료를맞춤제작하는능력[8,28].
안정적인 국내외 고객 기반: 삼성전자, SK하이닉스, 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 국내 주요 반도체 및 디스플레이 대기업을 고객사로 확보 [5, 17]. 인텔, 글로벌 파운드리 등 미국 반도체 기업들과의 협력 추진으로 글로벌 시장 확대 [5, 17].안정적인국내외고객기반:삼성전자,SK하이닉스,삼성디스플레이,LG디스플레이등국내주요반도체및디스플레이대기업을고객사로확보[5,17].인텔,글로벌파운드리등미국반도체기업들과의협력추진으로글로벌시장확대[5,17].
독자적인 핵심 기술력: 독자적인 핵심 기술력을 기반으로 관련 분야에서 차별화된 경쟁 우위를 확보, 특허 포트폴리오와 프로젝트 수행 이력을 통한 전문성 확인 [13]. 자체 개발한 세리아 기반 슬러리는 독점 기술로 개발된 제품 [7, 8, 28].독자적인핵심기술력:독자적인핵심기술력을기반으로관련분야에서차별화된경쟁우위를확보,특허포트폴리오와프로젝트수행이력을통한전문성확인[13].자체개발한세리아기반슬러리는독점기술로개발된제품[7,8,28].
적용 산업적용산업
반도체 산업 [2, 3, 9, 10, 13, 14, 18, 20, 25, 30, 31, 32, 33, 35, 36, 37]반도체산업[2,3,9,10,13,14,18,20,25,30,31,32,33,35,36,37]
디스플레이 산업 [2, 3, 9, 10, 13, 14, 18, 25, 30, 31, 32, 33, 36, 37]디스플레이산업[2,3,9,10,13,14,18,25,30,31,32,33,36,37]
주요 시장주요시장
대한민국 [2], 중국 본토 [2, 3], 대만 [2, 3, 36], 일본 [5], 말레이시아 [26], 싱가포르 [26]대한민국[2],중국본토[2,3],대만[2,3,36],일본[5],말레이시아[26],싱가포르[26]
미국 [3, 5, 17, 26, 36]미국[3,5,17,26,36]
인증/특허인증/특허
독자적인 핵심 기술력을 기반으로 관련 분야에서 차별화된 경쟁 우위를 확보하고 있으며, 지속적인 연구개발 투자를 통해 기술 포트폴리오를 확장 중 [13].독자적인핵심기술력을기반으로관련분야에서차별화된경쟁우위를확보하고있으며,지속적인연구개발투자를통해기술포트폴리오를확장중[13].
특허 포트폴리오와 프로젝트 수행 이력을 통해 해당 분야의 전문성 확인 [13].특허포트폴리오와프로젝트수행이력을통해해당분야의전문성확인[13].
자체 개발한 세리아 기반 슬러리는 독점 기술로 개발된 제품 [7, 8, 28].자체개발한세리아기반슬러리는독점기술로개발된제품[7,8,28].