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EFEM

모델명

시리즈

반도체장비


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제품 상세 설명

300mm EFEM은 Track장비, Wet Etcher등 반도체 전공정 장비의 Wafer Loading & Unloading을 수행하는 장비입니다.

 

Specification

- 2~4 Load Port in Frong(Customized Product)

- Semi Standard Compliance

- Linear Track for Wafer Transfer Robot Traveling

- Easy Operating & Maintenance

- PIO Sensor & RFID Read/Write

- Enclose Structure

- Fastest cycle time(Hight throughput)

- Wafer Cooling

- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM

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