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Wafer Sorter 300

모델명

시리즈

반도체장비


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제품 상세 설명

Wafer Sorter 200은 200mm 반도체 공정에서 Wafer Aligning 및 ID Reading 후, 각 Recipe에 의해 Wafer를 원하는 위치로 Sorting 하는 기능의 장비입니다.

 

Specification

- Semi Standard Compliance

- 2~4 Load Port in Front(Customizied Product)

- Wafer Transfer Robot(Vacuum or Edge Grip Hand)

- Bluecord's Wafer Pre-Aligner & FFU\

- Easy Operating & Maintenance

- OHT & AGV Available

- Color Touch Screen

- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM

 

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