FHA-C mini시리즈는 고토크로 정밀한 회전동작을 제공하는 AC서보액츄에이터입니다.

초박형·정밀제어용 감속장치 하모닉드라이브와 초편평AC서보모터를 조합한 AC서보액츄에이터입니다.

제품특징

1) 박형ㆍ컴팩트ㆍ중공구조ㆍ고토크ㆍ고강성ㆍ고정도

2) 강성이 우수한 지지기구를 내장

3) 다양한 제어기능을 가진 컨트롤유니트도 시리즈화

용도

1) 반도체제조장치：반송로봇, 검사테이블

2) 액정제조장치：반송로봇, 검사테이블

3) 광산업관련장치

4) 의료용기기

제품사양