장비 설명

노광후 UV빛을 받지 않은 미경화 부위의 레지스트를 현상약으로 제거하여 동을 노출시키는 공정

장비 특징

·현상부 원터치 노즐 적용으로 세척이 용이
·현상 OSC틀의 분해가 용이하여 노즐의 세척이 간편함
·수세부 노즐파이프 원터치 방식 적용으로 분해가 용이
·메인펌프 토출구 필터하우징 적용
·현상 메인챔버, 수세부 측면 이중 커버 적용
·알루미늄 렘젯 나이프 적용으로 에어컷 효과 탁월
·컨베어부 PP 및 PE 등 내구성 강한 재질 적용