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크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법

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Clean Room System


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(주)일진엔지니어링 크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법



(주)일진엔지니어링 크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법  1



1.비청정실에 있어서의 준비
 ㆍ 현관에서 크린룸 시설의 사무실 또는 접실에 들어올 때 옥외용의 신발을 옥내용 신발로 갈아 신는다.
 ㆍ 점퍼등 외투는 사무실 또는 접실등에 있는 보관함에 수납 보관한다.
 ㆍ 모털이 많은 의류도 같이 보관함에 보관한다.
 ㆍ 장신구도 같이 보관한다.
 ㆍ 준청정실에 들어오기 전에 크린룸 전용 신발로 갈아 신는다.
 ㆍ 준청정실에 들어왹 직전에 에어샤워가 있으면 양팔을 들면서 천천히 몸을 1~2회전 시켜 청정한 공기를 덮어쓴다.

2.비청정실에 있어서의 준비
  ㉠수세
 ㆍ손은 오염의 운반체 임으로 필요에 따라 수시로 씻어야 한다.
      청정화된 부품이나 제품 및 포장재료등은 맨손으로 취급 하지말고 반드시 청정한 장갑 또는 손가락을 키움을 사용해야 한다.
 ㆍ수세기 밸브 개폐는 손을 쓰지않도록 발로 밟는 것 또는 센서를 이용할 것.
 ㆍ필요에 따라 청정한 식물성 세제를 사용,손을 씻되 청정한 물로 헹굴 것.
 ㆍHEPA FILTER를 내장한 자동 AIR TOWEL을 사용 손을 잘 건조 시킨다.
 ㆍ손을 닦고 건조 시킨후 피부를 보호하기 위해 핸드크림 이나 스킨로션을 바르도록 한다.
 ㉡의복 착용 순서
 ㆍ 수세를 한후..
 ㆍ 입실자 각인전용의 청정한 의복을 보관용 보관함 또는 행거 또는 소정의 수납장소 에서 꺼낸다
 ㆍ 포장된 크린룸용 의복의 포장은 잡아 뜯어서는 안되며 반드시 가위로 잘라내어 의복을  꺼내고 포장재료는 쓰레기통에 넣는다.
 ㆍ 크린룸용 의복은 소매나 옷섭등이 오염되지 않도록 책상이나 의장 닿는일이 없도록     서있는 자세로 착용할 것.
 ㆍ 후드 및 모자는 두발이 전부 안으로 들어갈수 있도록 깊숙히 쓴다.
 ㆍ 후드는 목 부분에서 카바올의 내측에 들어가도록 하고 카바올의 화스나를 접는다.
 ㆍ 신발이나 부츠의 경우 하의의 밑부분을 깊이 신발속으로 들어가도록 신고 부쓰가 흘러내리지 않도록 상부를 확실히 
     잡아 맬 것.
 ㆍ 크린룸용 의복을 착용한후에 다시 수세를 한다.
 ㆍ 손을 씻은후는 필히 접착 매트위를 통과하여 신발에 붙은 이물질을 제거한다.
 ㆍ 에어샤워가 있는 경우는 에어샤워를 통과한후 크린룸에 입실한다.



<풍속, 풍량>
(1) 풍속은 작업공간에서 규정된 풍속계로 측정한다.
(2) 풍속의 측정은 당해 크린룸 담당의 전문가가 행한다. 단, 풍속의 측정에 숙련작업자가 있으면 대행 할 수도 있다.
(3) 풍속의 측정은 매월 1회 이상 HEPA FILTER의 대표점(1점)으로 행한다.
(4) 풍량을 구할 필요가 있을때는 HEPA FILTER의 대표점의 풍속에 토출구의 면적을 곱한 것을 그 FILTER의 풍량으로 하여 FILTER전반에 대한 풍량을 구하고 이것을 총계한 것을 그 크린룸의 풍량으로 한다.
(5) 풍속의 측정은 HEPA FILTER 또는 정류격자의 공기의 토출구에 평행해서 토출구에서 - 150M/M 하류의 면에서 각각의 HEPA FILTER의 중앙 위치에서 행한다.

<공기의 청정도>
(1) 공기의 청정도는 크린룸내에 있어서의 부유입자의 측정방법에  의해 측정하고 기록한다.
(2) 공기의 청정도는 입경 0.5μm 이상의 입자 및 5μm 이상의 입자에 대해서 규정한 측정기로 측정한다.
(3) 공기청정도의 측정은 당해 크린룸의 전문가가 행한다. 즉 광산란식 입자 계수기에 의한 측정에 숙련된 작업자가 있으면 대행해도 좋다.
(4) 공기의 청정도의 측정에 있어서 공기의 흡인은 지시된 위치에서 바닥으로부터 1M~1.5M 높이에 행한다.
(5) 측정공기체적의 총량이 적어도 1LIT가 될때까지 계속 또는 단속해서 측정을 한다. 개수농도가 500회/L를 넘을 것으로 보아지는 경우에는 500회 근방의 계수치 표시가 얻어지는 범위에서 측정공기 총체적을 감소시켜도 좋지만 0.1LIT를 하회해서는 않된다.
(6) 공기청정도의 측정회수
(주)일진엔지니어링 크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법  2

주) 크린룸의 주요 작업위치에 관해서는 CLASS 100에서는 3개월에 1회 CLASS 1000에서는   6개월에 1회 일정일에 1시간마다 6회 행하고 기록해서 공기의 청정도를 확인한다.

(7) 주사 누설시험은 HEPA FILTER를 갈아 끼울때 또는 년1회 정기검사 및 공기의 청정도에 이상이 발견 된 경우 행한다.
(8) HEPA FILTER면의 주사 누설시험은 정류격자를 떼어내어 광산란식 입자계수기의 검출끝을 HEPA FILTER면의 토출구에 평행하게 토출구부터 약 10MM 하류의 위치에 유지시키면서 FILTER의 일단에서 다단까지 6CM/SEC의 속도로 주사해서 주사핏치 30MM를 한도로 FILTER면 전면에 관해서 행한다.
주) 광산란식 입자계수기 외에 이에 준하는 측정기에 의한것도 좋다.

<공기압>
(1) 크린룸의 공기압은 오염된 공기가 틈새로 반입하지 않게끔 하기 위하여 크린룸에 직접 인접한 곳,보다 청정도가 낮은 크린룸, 크린룸의 입구, 에어샤워실, 준청정실, 외기 등 모든 공간의 공기압보다 약간이기는 하지만 높은 압력을 유지하지 않으면 않된다.
(2) 공기압의 측정은 실내외의 차압을 수주 0.1MM까지 측정할수 있는 미압계 또는 이것을 대신 할수있는 측정계를 사용해서 행한다.
(3) 공기압의 측정은 원칙적으로 작업자가 행하며 크린룸이 정상상태로 된 작업 개시전에 측정기록한다. 필요에 따라 개시측정 기록을 할 수도 있다.
(4) 크린룸의 공기압, 온도, 습도의 측정빈도
(주)일진엔지니어링 크린룸도입시 고려사항 / 사용 및 유지방법  3
(5) 크린룸 담당의 전문가는 정기적으로 측정 기록을 검토해서 설계시의 차압과 상이가 없는지 현상대로 좋은지의 여부를 검토한다.

<온도>
(1) 온도의 측정은 원칙적으로 작업자가 행한다.
(2) 온도의 측정장소 위치는 당해 크린룸의 전문가가 결정한다.
(3) 온도 측정용 계기는 아스만 통풍건습계로 한다.
(4) 측정결과는 기록한다.
(5) 자기온도 기록계를 대용해도 좋지만 매일1회이상 계기와 비교해서 항상 ±0.5℃이하로 교정하지 않으면 않됨. 
(6) 크린룸내에서의 온도분포에 관해서는 당해 크린룸의 전문가가 표시된 빈도를 준용해서 측정기록해 둔다.
(7) 자기온도 기록계를 사용할 경우 표시된 빈도에 준해서 자기온도 기록계와     아스만 통풍건습계에 의한 온도의 관측결과를 실내 8개소 이상의 위치에 관해 작업중 연속 6시간 이상 1시간마다 기록해서 허용오차내에 있는가를 확인한다.
(8) 발열체에서 60CM 이내에서 온도을 측정해서는 않된다.
(9) 특히 온도조건이 까다로운 경우를 제외, 일반적으로 책상높이(0.6-1.0M)의 위치에서 측정한다.
(10) 온도변화에 특히 민감한 작업을 할때는 급격한 온도변화를 감지하기 위해 자동온도 경보장치를 설치한다.
(11) 필요에 따라 공조계통에 이상이 생겼을 때를 알릴수 있도록 경보장치를 적절한 위치에 설치한다

<습도>
(1) 습도의 측정도 온도측정과 같이 작업자가 행한다.
(2) 습도의 측정장소 및 위치는 당해 크린룸의 전문가가 결정한다.
(3) 습도측정에 사용할 계기는 아스만 통풍 건습계로 한다.
(4) 측정결과는 항상 기록한다.
(5) 자기습도 기록계를 통풍건습계의 보조계기로 사용할 수도 있으나 적어도 주1회 교정에서 허용 오차 내에 있는가를 확인한다.
(6) 습도에 극히 민감한 제품을 취급할 경우에는 별도 특수대책을 취할 필요가 있다.

<유해가스>
(1) 측정대상이 되는 외기에 의해 도입되는 유해가스 및 작업에 따라 발생되는 유해가스 가령 일산화 탄소, 탄산가스, 탄화수소, 이산화질소, 오존, 유화수소 등 중에서 작업자의 건강, 안전규정, 프로세스 등에 경향을 고려해서 문제가 되는 가스를 해당 크린룸 전문가가 선정, 규정 이상의 농도 인가 여부를 확인한다.
(2) 유해가스에 대해서 전문가가 측정한다.
(3) 유해가스 측정에 사용되는 기재 즉, 검지관, 시보계, 적외선 분석기, 가스 크로마토 그래피 (GAS CHROMOTO GRAPHY)등의 문제 가스에 적합한 기재를 전문가가 결정한다.
(4) 측정빈도는 지방의 환경조건, 크린룸의 자동 조건에 따라 전문가가 결정한다.
 


<크린룸내에서의 주의사항>
(1) 크린룸내에서의 동작은 조용하게 소정의 작업을 세심한 주의를 가지고 대행한다.
(2) 크린룸내에서는 발을 끌면서 걷는다든가 팔을 심히 흔든다든가 하는 불필요한 동작 및 이동을  해서는 않된다.
(3) 흡연 및 음식은 반입을 하지 않는다.
(4) 필요에 따라 장갑 및 손가락끼게를 사용하되 수시로 교체하여아 한다.
(5) 장갑을 낀손과 크린룸용 의복과의 사이에 맨살이 나오도록 해서는 않된다.
(6) 장갑착용후는 청정도가 불확실한 표면, 물품 및 의복등 카바의 유무를 불문하고 신체의 어떤 부분도 노출되지 않도록 한다.
(7) 크린룸용 의복의 화스나를 열어서는 않된다. (8) 적어도 육안으로 청정한 물품이라고 인정되지 않은 물품을 크린룸내에 지입해서는 않된다.
(9) 모든 작업은 청정한 작업대 위에서만 행할것.
(10) 수동공구, 기구, 필기용구류는 사용하지 않을시는 문이 있는 캐비넷내에나 소정의 위치에 청정한 카바를 해서 보관한다.
(11) 손은 필요에 따라 수시로 씻을것.
(12) 공구, 기구, 필기용구류는 오염물이 발생할 정도의 난폭한 취급을 하지말것.


<크린룸에서 퇴출할시의 주의사항>
(1) 크린룸에서 퇴실시에는 에어샤워를 할 필요는 없다.
(2) 준청정실에 있는 탈의실 구역에 들어올때까지 크린룸용 의복을 벗어서는 않된다.
(3) 탈의실 구역에오면 크린룸용 신발을 벗고 오염되지 않게 소정의 수용장소에 수납한다.
(4) 필요하면 2-7-2(1)의 요령으로 손을 씻고 후-드 또는 모자를 벗고 오염되지 않도록 소정의 장소에 수용한다.
(5) 크린룸용 카바올등이 책상이나 의자 기타 비품에 닿지않도록 벗고 보관함 또는 소정의 장소에 오염 되지 않도록 행가에 걸어둔다.
(6) 크린룸 내의 작업자가 손을 씻기 위해서 준청정실로 가야할 때 크린룸용 의복을 벗을 필요는 없다. 손을 씻은후 크린룸에 다시 들어올때는 정착 매트위를 통과해야 하며 에어샤워 시설이 있을 경우는 에어샤워를 쐬일것.
(8) 대변 및 용변을 할 경우는 상기 (1) - (7)에 지시된 순서를 지켜야 한다.
 

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