<풍속, 풍량>
(1) 풍속은 작업공간에서 규정된 풍속계로 측정한다.
(2) 풍속의 측정은 당해 크린룸 담당의 전문가가 행한다. 단, 풍속의 측정에 숙련작업자가 있으면 대행 할 수도 있다.
(3) 풍속의 측정은 매월 1회 이상 HEPA FILTER의 대표점(1점)으로 행한다.
(4) 풍량을 구할 필요가 있을때는 HEPA FILTER의 대표점의 풍속에 토출구의 면적을 곱한 것을 그 FILTER의 풍량으로 하여 FILTER전반에 대한 풍량을 구하고 이것을 총계한 것을 그 크린룸의 풍량으로 한다.
(5) 풍속의 측정은 HEPA FILTER 또는 정류격자의 공기의 토출구에 평행해서 토출구에서 - 150M/M 하류의 면에서 각각의 HEPA FILTER의 중앙 위치에서 행한다.
<공기의 청정도>
(1) 공기의 청정도는 크린룸내에 있어서의 부유입자의 측정방법에 의해 측정하고 기록한다.
(2) 공기의 청정도는 입경 0.5μm 이상의 입자 및 5μm 이상의 입자에 대해서 규정한 측정기로 측정한다.
(3) 공기청정도의 측정은 당해 크린룸의 전문가가 행한다. 즉 광산란식 입자 계수기에 의한 측정에 숙련된 작업자가 있으면 대행해도 좋다.
(4) 공기의 청정도의 측정에 있어서 공기의 흡인은 지시된 위치에서 바닥으로부터 1M~1.5M 높이에 행한다.
(5) 측정공기체적의 총량이 적어도 1LIT가 될때까지 계속 또는 단속해서 측정을 한다. 개수농도가 500회/L를 넘을 것으로 보아지는 경우에는 500회 근방의 계수치 표시가 얻어지는 범위에서 측정공기 총체적을 감소시켜도 좋지만 0.1LIT를 하회해서는 않된다.
(6) 공기청정도의 측정회수

주) 크린룸의 주요 작업위치에 관해서는 CLASS 100에서는 3개월에 1회 CLASS 1000에서는 6개월에 1회 일정일에 1시간마다 6회 행하고 기록해서 공기의 청정도를 확인한다.
(7) 주사 누설시험은 HEPA FILTER를 갈아 끼울때 또는 년1회 정기검사 및 공기의 청정도에 이상이 발견 된 경우 행한다.
(8) HEPA FILTER면의 주사 누설시험은 정류격자를 떼어내어 광산란식 입자계수기의 검출끝을 HEPA FILTER면의 토출구에 평행하게 토출구부터 약 10MM 하류의 위치에 유지시키면서 FILTER의 일단에서 다단까지 6CM/SEC의 속도로 주사해서 주사핏치 30MM를 한도로 FILTER면 전면에 관해서 행한다.
주) 광산란식 입자계수기 외에 이에 준하는 측정기에 의한것도 좋다.
<공기압>
(1) 크린룸의 공기압은 오염된 공기가 틈새로 반입하지 않게끔 하기 위하여 크린룸에 직접 인접한 곳,보다 청정도가 낮은 크린룸, 크린룸의 입구, 에어샤워실, 준청정실, 외기 등 모든 공간의 공기압보다 약간이기는 하지만 높은 압력을 유지하지 않으면 않된다.
(2) 공기압의 측정은 실내외의 차압을 수주 0.1MM까지 측정할수 있는 미압계 또는 이것을 대신 할수있는 측정계를 사용해서 행한다.
(3) 공기압의 측정은 원칙적으로 작업자가 행하며 크린룸이 정상상태로 된 작업 개시전에 측정기록한다. 필요에 따라 개시측정 기록을 할 수도 있다.
(4) 크린룸의 공기압, 온도, 습도의 측정빈도

(5) 크린룸 담당의 전문가는 정기적으로 측정 기록을 검토해서 설계시의 차압과 상이가 없는지 현상대로 좋은지의 여부를 검토한다.
<온도>
(1) 온도의 측정은 원칙적으로 작업자가 행한다.
(2) 온도의 측정장소 위치는 당해 크린룸의 전문가가 결정한다.
(3) 온도 측정용 계기는 아스만 통풍건습계로 한다.
(4) 측정결과는 기록한다.
(5) 자기온도 기록계를 대용해도 좋지만 매일1회이상 계기와 비교해서 항상 ±0.5℃이하로 교정하지 않으면 않됨.
(6) 크린룸내에서의 온도분포에 관해서는 당해 크린룸의 전문가가 표시된 빈도를 준용해서 측정기록해 둔다.
(7) 자기온도 기록계를 사용할 경우 표시된 빈도에 준해서 자기온도 기록계와 아스만 통풍건습계에 의한 온도의 관측결과를 실내 8개소 이상의 위치에 관해 작업중 연속 6시간 이상 1시간마다 기록해서 허용오차내에 있는가를 확인한다.
(8) 발열체에서 60CM 이내에서 온도을 측정해서는 않된다.
(9) 특히 온도조건이 까다로운 경우를 제외, 일반적으로 책상높이(0.6-1.0M)의 위치에서 측정한다.
(10) 온도변화에 특히 민감한 작업을 할때는 급격한 온도변화를 감지하기 위해 자동온도 경보장치를 설치한다.
(11) 필요에 따라 공조계통에 이상이 생겼을 때를 알릴수 있도록 경보장치를 적절한 위치에 설치한다
<습도>
(1) 습도의 측정도 온도측정과 같이 작업자가 행한다.
(2) 습도의 측정장소 및 위치는 당해 크린룸의 전문가가 결정한다.
(3) 습도측정에 사용할 계기는 아스만 통풍 건습계로 한다.
(4) 측정결과는 항상 기록한다.
(5) 자기습도 기록계를 통풍건습계의 보조계기로 사용할 수도 있으나 적어도 주1회 교정에서 허용 오차 내에 있는가를 확인한다.
(6) 습도에 극히 민감한 제품을 취급할 경우에는 별도 특수대책을 취할 필요가 있다.
<유해가스>
(1) 측정대상이 되는 외기에 의해 도입되는 유해가스 및 작업에 따라 발생되는 유해가스 가령 일산화 탄소, 탄산가스, 탄화수소, 이산화질소, 오존, 유화수소 등 중에서 작업자의 건강, 안전규정, 프로세스 등에 경향을 고려해서 문제가 되는 가스를 해당 크린룸 전문가가 선정, 규정 이상의 농도 인가 여부를 확인한다.
(2) 유해가스에 대해서 전문가가 측정한다.
(3) 유해가스 측정에 사용되는 기재 즉, 검지관, 시보계, 적외선 분석기, 가스 크로마토 그래피 (GAS CHROMOTO GRAPHY)등의 문제 가스에 적합한 기재를 전문가가 결정한다.
(4) 측정빈도는 지방의 환경조건, 크린룸의 자동 조건에 따라 전문가가 결정한다.