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OTI (Optical Tomographic Inspector)

모델명

시리즈

3D 비파괴 검사장비


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제품 상세 설명

 

 

제품설명

- 현미경형 광 단층 영상 장비.

- 단층 영상을 이용한 비파괴 3차원 영상화.

- 전동 3축 샘플 제어 스테이지.

 

제품사양

검사대상 필름, 디스플레이 패널, PCB 표면 등 근적외선광 투과성 평탄 샘플.
검사기준 검사 대상 내부에 대한 광학적 성질 변화의 분석.
검사항목 검사 대상체의 단층.
검사 대상체의 3차원 외관.
광학 분해능(Axial) 7 ㎛
광학 분해능(Lateral) > 15㎛
Scan영역 10 * 10 mm
기본영상 해상도 500 * 521 (pixel)
기본 영상 획득 속도 100 fps
stage 이동거리 100 * 100 * 100 mm (X * Y * Z axis)
X, Y, Z axis stage 구동방식 전동
Vision system 1MP, 24Bit Color

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