(주)벡트론
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Vacuum Stage
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제품 상세 설명
OVERVIEW
X-axis(±15), Y-axis (±15)
Pitch(±2.5°), Roll((±2.5°)
SPECIFICATIONS
| Model No. | VAX-0000-A | VAZ-0000-A |
| Table size (mm) | 000 * 000 | 000 * 000 |
| Motion range (mm) | 00 | 00 |
| Resolution (µm) | 0.00(Half Step) | 0.00(Half Step) |
| Accuracy (µm) | 0 | 0 |
| Repeatability (µm) | ±0 | ±0 |
| Load capacity | 000kgf | 000kgf |
| Guide mechanism | Cross roller Guide | Cross roller Guide |
| Lead mechanism | Ball Screw,Lead 0mm | Ball Screw,Lead 0mm |
| Encoder | ||
| Drive type | 5-ph, Stepping motor | 5-ph, Stepping motor |
| Vacuum Pressure | 5 * 10E-8torr | 5 * 10E-8torr |