(주)벡트론
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Compound Refractive Lens(CRL) Manipulator
모델명
시리즈
가속기 장치 사업
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제품 상세 설명
Overview
다수의 Be Lens를 한 개의 모듈로 제작하여 개별 모듈단위로 빔라인 광축 상에 추가하거나 제거하는 방법으로 빔의 집속 크기를 조절한다.
Be Lens의 모듈은 원격으로 이루어 진다.
Specifications
| PART | Parameter | Specification |
| Pitch | Range(mrad) | ±50 |
| Resolution(μrad) | 1 | |
| Roll | Range(mrad) | ±50 |
| Resolution(μrad) | 1 | |
| Yaw | Range(mrad) | ±14 |
| Resolution(μrad) | 2 | |
| Chamber X | Range(mm) | ±25 |
| Resolution(µm) | 0.1 | |
| Chamber Z | Range(mm) | ±25 |
| Resolution(µm) | 0.1 |