(주)벡트론
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Mirror Manipulator System
모델명
시리즈
가속기 장치 사업
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제품 상세 설명
Overview
방사된 광자 빔을 시준,집속하여 실험 대상물까지 유도하는 역할을 한다.
원격에 의한 x, y, roll, pitch, yaw 방향의 5축 정밀제어 알루미늄 와이어에 의한 UHV sealing
Specifications
| Mirror Manipulator | Range | 12mm(0 ~100kgf) |
| Resolution | 0.02 ㎛ | |
| Precision | 0.1kgf(force sensor) | |
| Vacuum Performance | less than 1x10-9 mbar | |
| Maximum Bake-Out Temp | 120℃ | |
| Mirror Length | 100~1400mm | |
| Axis Actuator Type | 5P Harmonic Step Motor | |
| Tangential Slope Error | less than 2μrad | |
| Pitch (rotation about X axis) | Range | ±2.54° |
| Resolution | 0.018″ | |
| Roll (rotation about Y axis) | Range | ±2.6° |
| Resolution | 0.094″ | |
| Yaw (rotation about Z axis) | Range | ±2.03° |
| Resolution | 0.007″ | |
| X direction | Range | ±20.0 mm |
| Resolution | 0.02 ㎛ | |
| Z direction | Range | ±25.0 mm |
| Resolution | 0.05 ㎛ |