(주)써모니크
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Rounde Type Heater (Round Type Chamber)
모델명
시리즈
Graphite Furnace
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제품 상세 설명
ROUNDE TYPE HEATER (ROUND TYPE CHAMBER)
| Heat zone | 650 Dia. x 1520D ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능 |
|---|---|
| Max temp | 1800℃ |
| 진공도 | 10(-2) torr대 |
| Utility | Power 150KVA, 냉각수, 공정gas, Air |
| Heater | Graphite Rod Type Heater |
| 단열재 | Graphite 성형단열재 |
| Zone 제어방식 | 2 Zone 제어방식 |
| 분위기 | Ar carrier 운전방식 |