(주)써모니크
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사면 HEATER TYPE (ROUND TYPE CHAMBER)
모델명
시리즈
Graphite Furnace
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제품 상세 설명
사면 HEATER TYPE (ROUND TYPE CHAMBER)
| Heat zone | 550 x 550 x 1100D ※소비자의 요구에 맞게 변경 가능 |
|---|---|
| 제품치수 | 450 x 500 x 950D(mm) |
| Max temp | 1700℃ |
| 진공도 | 10(-5) torr대 (Diffusion Pump 부착) |
| 사용 Gas | N2, Ar, 진공 |
| Utility | Power 150KVA, 냉각수, 공정gas, Air |
| Heater | Graphite Rod Type Heater |
| 단열재 | Graphite 성형단열재 |
| Zone 제어방식 | 2 Zone 제어방식 |