(주)써모니크
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다단식 Heater Furnace
모델명
시리즈
Graphite Furnace
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제품 상세 설명
다단식 Heater Furnace
| Heat zone | 1000 x 1000 x 650H, 6단 ※SIZE 및 단수는 소비자의 요구에 맞게 변경 가능 |
|---|---|
| Max temp | 1500℃ ∼ 2900℃ |
| 진공도 | 10(-2) torr대 ※Diffusion Pump 부착시 10(-5) torr대 |
| 사용 Gas | H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
| Utility | Power 180KVA, 냉각수, 공정gas, Air |
| Optional items |
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| 특징 |
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