개요

Reticle, Pod 반송 및 저장 관리를 위한 시스템으로 N2 Purge 기능 보유

특징

- High capacity (RSP-150, 6”Reticle)
  . Reticle Pod : 68 EA
  . Bare Reticle : 1,452 EA
- High Clean Class System
  . Pod area : SEC Class 1000
  . Bare area : SEC Class 1
- 반송 Interface : OHT