세메스(주)
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Combo Stocker
모델명
시리즈
물류자동화 장비
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제품 상세 설명
개요
Reticle, Pod 반송 및 저장 관리를 위한 시스템으로 N2 Purge 기능 보유
특징
- High capacity (RSP-150, 6”Reticle)
. Reticle Pod : 68 EA
. Bare Reticle : 1,452 EA
- High Clean Class System
. Pod area : SEC Class 1000
. Bare area : SEC Class 1
- 반송 Interface : OHT