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세메스(주)

세메스(주)

Combo Stocker

모델명

시리즈

물류자동화 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

Reticle, Pod 반송 및 저장 관리를 위한 시스템으로 N2 Purge 기능 보유

 

특징

- High capacity (RSP-150, 6”Reticle)
  . Reticle Pod : 68 EA
  . Bare Reticle : 1,452 EA
- High Clean Class System
  . Pod area : SEC Class 1000
  . Bare area : SEC Class 1
- 반송 Interface : OHT

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