세메스(주)
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OHT System
모델명
시리즈
물류자동화 장비
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제품 상세 설명
개요
웨이퍼 보관용기의 자동 반송을 위한 물류 System
특징
- 물류간 최적경로 탐색 및 작업할당을 하는 OCS(OHT Control System)의 통제를 받아 공정/설비간 웨이퍼 보관용기를 자동 반송함
- 반송 대상
. FAB : FOUP, FOSB, Reticle
. Backend : Cassette, Magazine, Tray
- Velocity
. 직선 / 곡선 : 3.3 / 1.0㎧
. 가속 / 감속 : 2.5㎨ / 3.5㎨
- 분기/합류 방식 : Vehicle self switching
- Power Supply : CPS-Contact less Power Supply (이중화)
- 반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter