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세메스(주)

세메스(주)

OHT System

모델명

시리즈

물류자동화 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

웨이퍼 보관용기의 자동 반송을 위한 물류 System

 

특징

- 물류간 최적경로 탐색 및 작업할당을 하는 OCS(OHT Control System)의 통제를 받아 공정/설비간 웨이퍼 보관용기를 자동 반송함
- 반송 대상
  . FAB : FOUP, FOSB, Reticle
  . Backend : Cassette, Magazine, Tray
- Velocity
  . 직선 / 곡선 : 3.3 / 1.0㎧
  . 가속 / 감속 : 2.5㎨ / 3.5㎨
- 분기/합류 방식 : Vehicle self switching
- Power Supply : CPS-Contact less Power Supply (이중화)
- 반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter

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