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세메스(주)

세메스(주)

Etcher/Stripper

모델명

시리즈

디스플레이 장비


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원산지

대한민국


041-620-8000

제품 상세 설명

개요

Display Panel 제조 공정 중 식각 및 박리 공정을 담당하는 설비

 

특징

Varrious Application
- Various Display Capabilities : LCD / OLED / Flexible - U&I Type In-Line (Slope / Horizon / DIP)

High Performance
- Etch Rate Uniformity ≤ 5%↓
- CD Bias Uniformity ≤ 0.5㎛
- Temp. Control Accuracy :±0.5℃↓

Outstanding Advantage
- Chemical Fume and Particle Free (Non-contact Magnetic Transfer Mechanism
- Improvement of C.o.O

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