Chat with us, powered by LiveChat Sputter 제조장비 | 신진엠텍(주) - 코머신
제품명 Sputter 제조장비
모델명
시리즈 장비 사업부
카탈로그
제품소개

Touch Panel Screen의 기본 재료인 ITO(Indium Tin Oxide,투명 전극 재료)필름, Window 필름, 산업용 Metal 필름, FCCL,Solar Cell, Flexible Display용 필름 등을 생산할 수 있는 진공 Coating 장비이다.

 

Features

특성 Uniformily 확보 용이

ㆍGas Nozzle 및 Pump의 사양, 설치 위치의 최적화 실현 

Chamber내 구조 최적화

ㆍFilm Handling 기구 및 Sputter Source 구조설계로 Sputtering 효율 향상 및 생산성 향상에 기여 

ITO Film

ㆍMetal Film의 혼용 생산이 가능
ㆍJob Change 시간을 단축할 수 있는 구조 설계로 Flexible한 생산 라인 운용 가능 
ㆍUnder Coating (SiOx, Nb2O5, TiO2)) 과 산화성 전도막 (ITO, Metal) 동시 공정 가능

GUI Base로 Recipe 작성, 운영

ㆍ사용자 편리성 강화
ㆍ제작 환경 우수 
ㆍ고객사 사용 환경과 동일한 크린룸내 조립, 성능평가로 장비 내구성 향상 및 생산 적용시 불량 발생 최소화 

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