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제품명 Uv Irradiator
모델명 SM-UV1100
시리즈 반도체 제조장비
카탈로그
제품소개

제품설명

Uv 1100은 반자동 방식으로 film frame위에 접착된 Uv tape의 접착력을 감소시켜 주는 장비이다.  
   

Specification

Model SM - UV1100
Wafer Size 8 , 12 Inch
Dimension 405(L) *485(W)*500(H) mm
Power 220V AC 1P 50/60 Hz
Weight 30Kg
Air 5 ~ 7 kg/㎠

 

Feature
 
- Compact Desktop Table 
- 8”,12” Wafer available 
- Safe , Ozone free 
- Non cooling or nitrogen system 
- uv Lamp ass’y installed . 
- Low Pressure Mercury Vapor Lamp 
- uv Wavelength : 365 nm 
- uv Irradiate condition : Above 150 mj / cm²

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