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제품명 Cluster Sputter
모델명
시리즈 Sputtering System
카탈로그
제품소개

▷ 자동화된 생산라인이나 개발 및 연구현장 등에 적합한 System
▷ 고집적화 된 Technology와 Mechanism을 제공

Application

- 다양한 박막(Metal, Oxide, TCO)공정에 적용
- 고집적 반도체 및 전자부품 기판 공정
- 박막태양전지 제조 공정

 

Specification

구성 Loading, Transfer, Pre-treatment, Deposition(PVD, CVD)
제품 이송 고진공 자동 Robot
Cathode Planar or Round Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO

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