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광학 전면 및 후면 마스크 정렬시스템

모델명

시리즈

마스크얼라이너


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제품 상세 설명

OAI Model 800 마스크 얼라이너는 반자동、4개의 카메라、광학 전면 및 후면 마스크 Aligner입니다. 초정밀 (1μm-2μm) 정렬 정확도를 제공하며 매우 경쟁력 있는 가격으로 모든 IR 후면 Aligner의 성능을 크게 능가하도록 설계되었습니다. 다용도 모델 800 마스크 Aligner는 소량 생산, R & D 연구소 및 대학에서 사용하기에 이상적입니다.


Model 800 Mask Aligner는 최대 2kW까지의 다양한 OAI UV 광원으로 구성됩니다. 마스크 Aligner tooling은 최대 8 인치 사각형의 기판을 수용 할 수 있으며 웨이퍼 척(wafer chuck )은 쉽게 로딩 및 언 로딩 할 수 있도록 배치됩니다.
이 효율적인 비용의 마스크 Aligner는 전동식 후면 포커스, 자동 오토 레벨링 및 자동 간격 설정 기능도 갖추고 있습니다.

진동 차단 플랫폼을 기반으로 제작 된 고정 마스크 홀더 어셈블리는 정렬 정확도와 반복성을 보장합니다. 읽기 쉬운 PLC 터치 스크린을 사용하여 조작이 간단 해졌습니다. 운영자는 1 시간 이내에 효과적으로 마스크 Aligner를 사용하는 법을 배울 수 있을 정도로 교육시간이 짧습니다.

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