(주)새론테크놀로지
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Nano Actuator
모델명
시리즈
Option&Sample Prep.
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제품 상세 설명
설명
주사전자현미경(SEM) Chamber 내부에 시료를 장착한 후 당겨서 인장력 테스트를 하는 장치
제품사양
| Nano Actuator | |||
| Open-loop travel, -20 to 120V | 600(μm) | Closed-loop travel | 500(μm) |
| Closed-loop/ Open-loop resolution | 1.4/0.5(nm) | Closed-loop linearity error | 0.03(%) |
| Repeatability | ±5nm | Pitch/yaw | ±6 μrad±6 μrad |
| Stiffness in motion direction | 0.1 N/μm | Load Capacity | 10 N max. |
| Lateral force | 10 N max. | Operating temperature range | -20 to 80 |
| Material | Aluminum | Dimension | 60mmx60mmx15mm(height) |
| Mass | 0.24kg | ||