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THC

모델명

시리즈

Test Chamber


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제품 상세 설명

반도체 Photo 공정 Track 설비의 초정밀 온도, 습도 제어 System

저전력 Energy Saving System 
최적화 설계 제작 (안정성 및 운영 편의성) 
 

구분

사양

TEMPERATURE CONTROL RANGE

THC : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃)
TCU : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃)

HUMIDITY CONTROL RANGE

THC : 40 ~ 45% (±0.25%)

FLOW RATE

88.5 ℓ/min

WIND SPEED

61㎥/min

 

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