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Burn-Wet

모델명

시리즈

Scrubber


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제품 상세 설명

반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 LNG 연소를 통한 직화 처리로 독성가스를 처리하는 System

Scraper System 적용 정기 PM 주기 연장
안전 인증 설계 진행 운영 안정성 확보

구분

사양

Dimension(W x D x H)

720mm x 850mm x 1680mm

Power

208 VAC, 3 Phase, 3A

Capacity

400 SLM

Utilities

LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2

 

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