(주)피티씨
제품 상세 설명
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 LNG 연소를 통한 직화 처리로 독성가스를 처리하는 System
Scraper System 적용 정기 PM 주기 연장
안전 인증 설계 진행 운영 안정성 확보
구분 |
사양 |
Dimension(W x D x H) |
720mm x 850mm x 1680mm |
Power |
208 VAC, 3 Phase, 3A |
Capacity |
400 SLM |
Utilities |
LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2 |