(주)피티씨
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Dry
모델명
시리즈
Scrubber
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제품 상세 설명
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 흡착제(Resin) 성분을 이용하여 물리흡착 및 화학흡착 반응을 통하여 TLV 값 이하로 제거하여 무해한 가스로 정화하는 System
Resin을 이용한 효율적 Target Gas 흡착
CW 미 사용(UT절감)
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구분 |
사양 |
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Dimension(W x D x H) |
740mm x 750mm x 1600mm |
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Power |
100~220 VAC, One Phase, 50~60Hz, 3A |
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Capacity |
200 SLM |
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Utilities |
N2 |