파크시스템스(주)는 1997년 설립된 원자간력현미경(AFM), 라만 분광기, 이미징 분광 타원계측계 등 나노계측기기 전문기업. 혁신적인 기술과 자동화된 소프트웨어를 기반으로 가장 정확하고 사용하기 쉬운 원자현미경(AFM)을 개발, 생산, 판매하는 기업. 반도체, 바이오 기술, 2차 전지 개발 등 광범위한 첨단 나노기술 분야에 정밀 계측 솔루션을 제공하며, 지속적인 정밀도와 성능으로 새로운 기준을 제시하는 기업. 30개국이 넘는 세계적 판매망을 구축하며 AFM 산업에서 25년 이상의 역사를 자랑하는 기업.파크시스템스(주)는1997년설립된원자간력현미경(AFM),라만분광기,이미징분광타원계측계등나노계측기기전문기업.혁신적인기술과자동화된소프트웨어를기반으로가장정확하고사용하기쉬운원자현미경(AFM)을개발,생산,판매하는기업.반도체,바이오기술,2차전지개발등광범위한첨단나노기술분야에정밀계측솔루션을제공하며,지속적인정밀도와성능으로새로운기준을제시하는기업.30개국이넘는세계적판매망을구축하며AFM산업에서25년이상의역사를자랑하는기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
원자현미경(AFM): Small Sample AFM (Park NX-Hivac, Park NX-10, Park XE7, Park NX1, Park NX-Bio, Park NX-10 SICM, Park NX12), Large Sample AFM (Park NX20 300mm, Park NX20, Park XE15, Park FX200), Automated AFM (Park 3DM Series, Park Wafer Series, Park HDM Series, Park PTR Series, Park FX40).원자현미경(AFM):SmallSampleAFM(ParkNX-Hivac,ParkNX-10,ParkXE7,ParkNX1,ParkNX-Bio,ParkNX-10SICM,ParkNX12),LargeSampleAFM(ParkNX20300mm,ParkNX20,ParkXE15,ParkFX200),AutomatedAFM(Park3DMSeries,ParkWaferSeries,ParkHDMSeries,ParkPTRSeries,ParkFX40).
이미징 분광 타원계측계(ISE): 박막 미세 분석을 위한 고해상도 광학 계측 기술.이미징분광타원계측계(ISE):박막미세분석을위한고해상도광학계측기술.
디지털 홀로그래픽 현미경(DHM): 비접촉 3D 광학 현미경 기술.디지털홀로그래픽현미경(DHM):비접촉3D광학현미경기술.
능동형 진동 제어 시스템(AVI): 측정 데이터 품질 향상을 위한 진동 격리 시스템.능동형진동제어시스템(AVI):측정데이터품질향상을위한진동격리시스템.
나노 적외선 분광기(AFM-IR): 원자현미경과 적외선 분광법을 결합한 나노 스케일 화학 분석 기술.나노적외선분광기(AFM-IR):원자현미경과적외선분광법을결합한나노스케일화학분석기술.
백색광 간섭계(WLI): 고속 비접촉 표면 계측을 위한 나노미터 수준의 수직 해상도 기술.백색광간섭계(WLI):고속비접촉표면계측을위한나노미터수준의수직해상도기술.
True Non-Contact™ Mode: 팁과 시료의 물리적 접촉 없이 고해상도 이미징을 구현하여 시료 손상을 최소화하고 팁 수명을 연장하는 독점 스캔 모드.TrueNon-Contact™Mode:팁과시료의물리적접촉없이고해상도이미징을구현하여시료손상을최소화하고팁수명을연장하는독점스캔모드.
Decoupled XY and Z Scanners: XY 스캐너와 Z 스캐너를 분리한 유연성 기반의 스캐너 아키텍처로, 왜곡 없는 고정밀 이미지와 뛰어난 직교성을 제공하는 기술.DecoupledXYandZScanners:XY스캐너와Z스캐너를분리한유연성기반의스캐너아키텍처로,왜곡없는고정밀이미지와뛰어난직교성을제공하는기술.
SmartScan™ 소프트웨어: AI 기반의 자동화된 AFM 운영 소프트웨어로, 초보자도 한 번의 클릭으로 전문가 수준의 고품질 나노 스케일 이미지를 빠르고 쉽게 얻을 수 있는 기술.SmartScan™소프트웨어:AI기반의자동화된AFM운영소프트웨어로,초보자도한번의클릭으로전문가수준의고품질나노스케일이미지를빠르고쉽게얻을수있는기술.
AdaptiveScan™: 샘플 표면의 형상에 따라 스캔 속도를 자동으로 조절하여 이미지 획득 시간을 단축하고 최적의 이미지 품질을 유지하는 기술.AdaptiveScan™:샘플표면의형상에따라스캔속도를자동으로조절하여이미지획득시간을단축하고최적의이미지품질을유지하는기술.
FastApproach™: 사용자 개입 없이 캔틸레버 로딩 후 10초 이내에 프로브를 샘플 표면에 자동으로 안전하게 접근시키는 특허 기술.FastApproach™:사용자개입없이캔틸레버로딩후10초이내에프로브를샘플표면에자동으로안전하게접근시키는특허기술.
PinPoint™ Nanomechanical Mode: 시료의 정량적 기계적 특성 데이터를 제공하는 기술.PinPoint™NanomechanicalMode:시료의정량적기계적특성데이터를제공하는기술.
3D-AFM: GAA 트랜지스터 및 고종횡비 3D NAND와 같은 복잡한 3D 구조의 수직 측벽을 정밀하게 측정하는 기술.3D-AFM:GAA트랜지스터및고종횡비3DNAND와같은복잡한3D구조의수직측벽을정밀하게측정하는기술.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
독보적인 원천 기술과 200개 이상의 글로벌 특허 포트폴리오를 통한 기술 리더십 확보 및 시장 진입 장벽 구축.독보적인원천기술과200개이상의글로벌특허포트폴리오를통한기술리더십확보및시장진입장벽구축.
세계 유일의 True Non-Contact™ Mode를 통해 시료 손상 없이 고해상도 이미지를 구현하고, 팁 수명을 10배 이상 연장하여 운영 비용을 절감하는 차별화된 기술력.세계유일의TrueNon-Contact™Mode를통해시료손상없이고해상도이미지를구현하고,팁수명을10배이상연장하여운영비용을절감하는차별화된기술력.
Decoupled XY/Z 스캐너 아키텍처로 스캔 범위나 샘플 크기에 관계없이 왜곡 없는 고정밀 이미지와 뛰어난 선형성 및 직교성을 제공하는 능력.DecoupledXY/Z스캐너아키텍처로스캔범위나샘플크기에관계없이왜곡없는고정밀이미지와뛰어난선형성및직교성을제공하는능력.
AI 기반 SmartScan™ 소프트웨어의 자동화된 기능으로 사용자 편의성을 극대화하고, 초보자도 전문가 수준의 데이터를 단시간에 얻을 수 있어 생산성 향상에 기여하는 점.AI기반SmartScan™소프트웨어의자동화된기능으로사용자편의성을극대화하고,초보자도전문가수준의데이터를단시간에얻을수있어생산성향상에기여하는점.
산업용 자동화 원자현미경 시장에서 세계 시장 점유율 1위를 기록하며, 특히 반도체 산업 내 주요 고객사들과의 긴밀한 협력 및 공동 개발을 통한 시장 지배력 강화.산업용자동화원자현미경시장에서세계시장점유율1위를기록하며,특히반도체산업내주요고객사들과의긴밀한협력및공동개발을통한시장지배력강화.
수직 통합 생산 시스템과 연매출의 15~18%에 달하는 높은 R&D 투자로 기술 혁신을 지속하고, 안정적인 공급망 관리 및 비용 효율성을 확보하는 점.수직통합생산시스템과연매출의15~18%에달하는높은R&D투자로기술혁신을지속하고,안정적인공급망관리및비용효율성을확보하는점.
QY Research 2023년 보고서 기준 글로벌 AFM 시장 점유율 20.61%로 2년 연속 1위를 차지하는 시장 리더십.QYResearch2023년보고서기준글로벌AFM시장점유율20.61%로2년연속1위를차지하는시장리더십.
Accurion GmbH 및 Lyncée Tec SA와 같은 전문 기업 인수를 통해 이미징 분광 타원계측계, 디지털 홀로그래픽 현미경 등 나노 계측 포트폴리오를 확장하고 시장 경쟁력을 강화하는 전략.AccurionGmbH및LyncéeTecSA와같은전문기업인수를통해이미징분광타원계측계,디지털홀로그래픽현미경등나노계측포트폴리오를확장하고시장경쟁력을강화하는전략.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 전공정 및 후공정 계측, EUV 마스크 결함 검출 및 리페어, CMP 계측, 웨이퍼 에지 프로파일링, 구리 패드 계측, 고급 패키징, 3D 칩 아키텍처, HBM4 검사 등 반도체 제조 공정 전반의 나노 스케일 분석 및 품질 관리.반도체산업:전공정및후공정계측,EUV마스크결함검출및리페어,CMP계측,웨이퍼에지프로파일링,구리패드계측,고급패키징,3D칩아키텍처,HBM4검사등반도체제조공정전반의나노스케일분석및품질관리.
재료 과학: 신소재 개발 및 특성 분석, 나노 구조 연구.재료과학:신소재개발및특성분석,나노구조연구.
생명 과학 및 바이오 기술: 라이브 셀, DNA 고해상도 이미징, 생물학적 샘플 분석, 제약 연구 및 진단.생명과학및바이오기술:라이브셀,DNA고해상도이미징,생물학적샘플분석,제약연구및진단.
디스플레이 기술: OLED, LCD, 포토닉스 등 평판 디스플레이 제조 공정의 고정밀 비파괴 측정 및 대형 샘플 분석.디스플레이기술:OLED,LCD,포토닉스등평판디스플레이제조공정의고정밀비파괴측정및대형샘플분석.
데이터 저장 장치 산업: HDD 헤드 및 기판의 정밀 나노 스케일 표면 분석, 자동 결함 감지.데이터저장장치산업:HDD헤드및기판의정밀나노스케일표면분석,자동결함감지.
나노기술 연구: 다양한 기초 과학 분야의 나노 스케일 측정 및 이미징.나노기술연구:다양한기초과학분야의나노스케일측정및이미징.
화학 및 물리 연구: 물질의 전기적, 기계적, 자기적, 열적 특성 및 표면 형상 분석.화학및물리연구:물질의전기적,기계적,자기적,열적특성및표면형상분석.
2차 전지 개발: 배터리 소재 및 구조의 나노 스케일 분석.2차전지개발:배터리소재및구조의나노스케일분석.
품질 관리: 산업 전반에 걸친 제품의 나노 스케일 품질 검사 및 관리.품질관리:산업전반에걸친제품의나노스케일품질검사및관리.
주요 시장주요시장
대한민국, 중국, 일본, 싱가포르, 대만, 인도, 베트남대한민국,중국,일본,싱가포르,대만,인도,베트남
독일, 스위스, 영국, 프랑스독일,스위스,영국,프랑스
미국, 멕시코미국,멕시코
오세아니아오세아니아
인증/특허인증/특허
200개 이상의 글로벌 특허 포트폴리오 보유.200개이상의글로벌특허포트폴리오보유.
원자현미경 분야 국내외 특허 43건 등록.원자현미경분야국내외특허43건등록.
광학 측정 장치를 갖춘 원자현미경 및 측정 대상 표면 정보 획득 방법, AFM의 타겟 위치 인식 장치 및 방법 등 주요 특허 보유.광학측정장치를갖춘원자현미경및측정대상표면정보획득방법,AFM의타겟위치인식장치및방법등주요특허보유.
기울어진 팁을 이용하여 측정 대상의 표면 특성을 얻는 방법 관련 특허 (3DM™ 모델).기울어진팁을이용하여측정대상의표면특성을얻는방법관련특허(3DM™모델).
True Non-Contact Mode™ 기술 관련 특허.TrueNon-ContactMode™기술관련특허.
FastApproach™ 및 SmartScan™ 소프트웨어 관련 특허.FastApproach™및SmartScan™소프트웨어관련특허.
2010년 산업용 AFM 기술 대한민국 국가핵심기술 지정.2010년산업용AFM기술대한민국국가핵심기술지정.
2016년 Frost & Sullivan Global Enabling Technology Leadership Award 수상.2016년Frost&SullivanGlobalEnablingTechnologyLeadershipAward수상.
2024년 Semiconductor Equipment Excellence Award 수상.2024년SemiconductorEquipmentExcellenceAward수상.
2020년 Forbes Asia's 200 Best Under a Billion 선정.2020년ForbesAsia's200BestUnderaBillion선정.