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왁스마운터 NFB는 카세트 단위로 웨이퍼와 세라믹 블록 로딩 및 언로딩을 진행하여 작업이 편리하며 먼지 등 이물질 보호에도 유리한 자동화 시스템입니다. 로딩 후, 세라믹 블록을 프리히팅존에서 예열을 하고 예열이 끝나면 마운팅존으로 이송하여 자동으로 웨이퍼를 마운팅한 후 쿨링존으로 이송하여 냉각한 후 언로딩 카세트로 이송됩니다. 이 장비는 2인치부터 8인치의 웨이퍼를 균일한 왁스레이어와 최소의 두께편차로 본딩이 가능하고 최적의 생산량 확보를 위하여 상대적으로 시간이 많이 걸리는 스핀코터와 베이킹 유닛을 듀얼시스템화 하였으며 스피닝과 베이킹을 동시에 하여 추가적으로 UPH를 확보하였습니다.

> Ø2”*24

> Ø4”*6(10)

> Ø6”*6