(주)엔티에스
왁스마운팅
모델명
시리즈
Substrate
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제품 상세 설명
> Fully Automatic Spin Coater with Liquid Wax
> Pressurized press and baking unit.
> Automatic block and wafer loader.
> Build In heating and cooling system for block.
> Air pressured wax dispenser with precise accuracy.
> LED Substrate
> Optical Lens
> Sapphire Cover Glass
> Home Button
> Camera Lens Cover
왁스마운터 NFB는 카세트 단위로 웨이퍼와 세라믹 블록 로딩 및 언로딩을 진행하여 작업이 편리하며 먼지 등 이물질 보호에도 유리한 자동화 시스템입니다. 로딩 후, 세라믹 블록을 프리히팅존에서 예열을 하고 예열이 끝나면 마운팅존으로 이송하여 자동으로 웨이퍼를 마운팅한 후 쿨링존으로 이송하여 냉각한 후 언로딩 카세트로 이송됩니다. 이 장비는 2인치부터 8인치의 웨이퍼를 균일한 왁스레이어와 최소의 두께편차로 본딩이 가능하고 최적의 생산량 확보를 위하여 상대적으로 시간이 많이 걸리는 스핀코터와 베이킹 유닛을 듀얼시스템화 하였으며 스피닝과 베이킹을 동시에 하여 추가적으로 UPH를 확보하였습니다.
> Ø2”*24
> Ø4”*6(10)
> Ø6”*6