엠쏘텍은 센서 및 광학 검사·측정 기술을 기반으로 고정밀 측정기기를 전문적으로 개발 및 제조하는 R&D 중심 기업. 반도체 및 디스플레이 산업의 나노박막 측정 시스템과 자율주행차 및 로봇 분야의 라이다(LiDAR) 센서 솔루션을 제공하는 공장 자동화 전문 기업. 측정 및 분석기구 제조업체로서 산업 전반의 정밀 측정 요구에 부응하는 기술력 보유. 혁신적인 기술 개발과 독자적인 광학 기술 확보를 통한 미래 성장 동력 확보 노력.엠쏘텍은센서및광학검사·측정기술을기반으로고정밀측정기기를전문적으로개발및제조하는R&D중심기업.반도체및디스플레이산업의나노박막측정시스템과자율주행차및로봇분야의라이다(LiDAR)센서솔루션을제공하는공장자동화전문기업.측정및분석기구제조업체로서산업전반의정밀측정요구에부응하는기술력보유.혁신적인기술개발과독자적인광학기술확보를통한미래성장동력확보노력.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
**Gap & Leveling Spacing Tool (MCT Series)**: 반도체 및 디스플레이 공정 챔버의 갭 및 레벨링을 측정하는 고정밀 장비. MCT-1000은 유선 방식의 6~9채널 모델로 CVD 챔버의 대형 서셉터에 응용. MCT-2000은 무선 방식의 6~16채널 모델로 더 큰 CVD 챔버 서셉터에 적합. MCT-3000은 200mm, 300mm, 450mm 웨이퍼 크기에 대응하는 모델. MCT-4000은 무선 3채널 모델로 CVD 챔버 웨이퍼 사이즈 서셉터 측정에 특화. 이 시리즈는 외부 노이즈 최소화, 과부하 자동 정지, 고정밀도, 편리한 HMI 사용자 인터페이스를 특징으로 하는 장비.**Gap&LevelingSpacingTool(MCTSeries)**:반도체및디스플레이공정챔버의갭및레벨링을측정하는고정밀장비.MCT-1000은유선방식의6~9채널모델로CVD챔버의대형서셉터에응용.MCT-2000은무선방식의6~16채널모델로더큰CVD챔버서셉터에적합.MCT-3000은200mm,300mm,450mm웨이퍼크기에대응하는모델.MCT-4000은무선3채널모델로CVD챔버웨이퍼사이즈서셉터측정에특화.이시리즈는외부노이즈최소화,과부하자동정지,고정밀도,편리한HMI사용자인터페이스를특징으로하는장비.
**Flatness Measurement Tool (MLL Series)**: 레이저를 활용한 평탄도 측정 도구. 고정밀도와 자동 분석 기능을 제공하여 다양한 산업 분야의 평탄도 검사에 활용. 광원 헤드 자동 회전 방식과 ±3.5um의 Detector Linearized accuracy를 구현. PDA를 통한 측정값 자동 저장 기능을 포함한 사용자 편의성 제공.**FlatnessMeasurementTool(MLLSeries)**:레이저를활용한평탄도측정도구.고정밀도와자동분석기능을제공하여다양한산업분야의평탄도검사에활용.광원헤드자동회전방식과±3.5um의DetectorLinearizedaccuracy를구현.PDA를통한측정값자동저장기능을포함한사용자편의성제공.
**Glass Breakage Detector (GBDR Series)**: 유리 깨짐을 감지하는 장비로, GBDR - 챔버 타입과 GBDR - 인덱스 타입으로 구성. 디스플레이 패널 생산 공정 등 유리 파손 감지가 중요한 분야에 적용되는 솔루션.**GlassBreakageDetector(GBDRSeries)**:유리깨짐을감지하는장비로,GBDR-챔버타입과GBDR-인덱스타입으로구성.디스플레이패널생산공정등유리파손감지가중요한분야에적용되는솔루션.
**Nano Thin Film Measurement System (Ellipsometer)**: 반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 필수적인 나노미터(nm) 단위 박막의 두께와 굴절률을 측정하는 고정밀 타원계측기. 고속(150P/sec 이상) 및 고해상도(10k point 이상) 측정 능력. 대면적 스캔 기능과 인라인(In-line) 공정 적용이 가능한 시스템. 한국표준과학연구원(KRISS)과의 협력을 통해 개발된 기술.**NanoThinFilmMeasurementSystem(Ellipsometer)**:반도체및디스플레이생산공정에서필수적인나노미터(nm)단위박막의두께와굴절률을측정하는고정밀타원계측기.고속(150P/sec이상)및고해상도(10kpoint이상)측정능력.대면적스캔기능과인라인(In-line)공정적용이가능한시스템.한국표준과학연구원(KRISS)과의협력을통해개발된기술.
**LiDAR Sensor Solution**: 자율주행차, 로봇, 보안 시스템의 핵심 부품인 라이다 센서 개발. 특허 기반의 비회전형 전방향 스캔 구조를 통해 기존 기계식 라이다의 내구성 및 가격 문제를 해결하는 혁신적인 기술. '듀얼 파장을 이용한 라이다' 등 다수의 핵심 특허를 보유한 기술 강소기업.**LiDARSensorSolution**:자율주행차,로봇,보안시스템의핵심부품인라이다센서개발.특허기반의비회전형전방향스캔구조를통해기존기계식라이다의내구성및가격문제를해결하는혁신적인기술.'듀얼파장을이용한라이다'등다수의핵심특허를보유한기술강소기업.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
**R&D 중심의 고정밀 기술력**: 센서 및 광학 검사·측정 기술을 기반으로 한 고정밀 측정기기 전문 개발 및 제조 역량 보유. 지속적인 연구개발 투자를 통해 기술 포트폴리오를 확장하는 기업.**R&D중심의고정밀기술력**:센서및광학검사·측정기술을기반으로한고정밀측정기기전문개발및제조역량보유.지속적인연구개발투자를통해기술포트폴리오를확장하는기업.
**독보적인 국내 시장 지위**: Plasma Vertical Precision Measurement System (MCT-1000)과 같은 반도체 관련 정밀 측정 장비를 국내에서 유일하게 생산하는 능력. 세계 시장을 선도하는 해외 기업 제품과 비교하여 우수한 성능을 자랑하는 경쟁 우위.**독보적인국내시장지위**:PlasmaVerticalPrecisionMeasurementSystem(MCT-1000)과같은반도체관련정밀측정장비를국내에서유일하게생산하는능력.세계시장을선도하는해외기업제품과비교하여우수한성능을자랑하는경쟁우위.
**혁신적인 LiDAR 센서 기술**: 자율주행차의 핵심 센서인 라이다를 비회전 방식으로 개발하여 기존 기계식 라이다의 단점인 내구성과 가격 문제를 해결. 다수의 핵심 특허를 기반으로 미래 성장 산업에 대한 선도적인 기술력 확보.**혁신적인LiDAR센서기술**:자율주행차의핵심센서인라이다를비회전방식으로개발하여기존기계식라이다의단점인내구성과가격문제를해결.다수의핵심특허를기반으로미래성장산업에대한선도적인기술력확보.
**인라인(In-line) 공정 적용 능력**: 나노박막 측정 시스템의 인라인 공정 적용을 통해 생산 라인 내에서 실시간 품질 검사 가능. 고객사의 공정 수율 향상 및 불량률 감소에 직접적으로 기여하는 차별화된 솔루션 제공.**인라인(In-line)공정적용능력**:나노박막측정시스템의인라인공정적용을통해생산라인내에서실시간품질검사가능.고객사의공정수율향상및불량률감소에직접적으로기여하는차별화된솔루션제공.
**숙련된 전문 인력 기반의 신뢰성**: 숙련된 전문 기술 인력을 통한 측정 시스템 분석 및 관리 능력. 고객에게 신뢰성 높은 품질 테스트 데이터를 제공하며 경쟁력 있는 비즈니스 파트너로서의 역할 수행.**숙련된전문인력기반의신뢰성**:숙련된전문기술인력을통한측정시스템분석및관리능력.고객에게신뢰성높은품질테스트데이터를제공하며경쟁력있는비즈니스파트너로서의역할수행.
**다수의 특허 및 인증 확보**: 7건의 특허와 벤처기업 등록, 기업부설연구소 설립, 수출유망중소기업 지정 등 다양한 인증 및 특허를 통한 기술 경쟁력 입증.**다수의특허및인증확보**:7건의특허와벤처기업등록,기업부설연구소설립,수출유망중소기업지정등다양한인증및특허를통한기술경쟁력입증.
적용 산업적용산업
반도체 산업: CVD 챔버의 갭 및 레벨링 측정, 나노박막 두께 및 굴절률 측정반도체산업:CVD챔버의갭및레벨링측정,나노박막두께및굴절률측정
디스플레이 산업: CVD 박막 증착 장비의 접촉 레벨링 측정, 나노박막 두께 및 굴절률 측정, 유리 깨짐 감지디스플레이산업:CVD박막증착장비의접촉레벨링측정,나노박막두께및굴절률측정,유리깨짐감지
공장 자동화: 고정밀 측정 및 분석기구를 통한 공정 효율화공장자동화:고정밀측정및분석기구를통한공정효율화
자율주행차: 핵심 부품인 라이다 센서 공급자율주행차:핵심부품인라이다센서공급
로보틱스: 라이다 센서 기술 적용로보틱스:라이다센서기술적용
보안 시스템: 라이다 센서 기술 활용보안시스템:라이다센서기술활용
국방 관련 산업: 다층 박막 두께 및 굴절률 측정 장비의 응용 가능성국방관련산업:다층박막두께및굴절률측정장비의응용가능성
주요 시장주요시장
대한민국대한민국
미국미국
인증/특허인증/특허
벤처기업 등록 (기술보증기금)벤처기업등록(기술보증기금)
기업부설연구소 설립 (한국산업기술진흥협회)기업부설연구소설립(한국산업기술진흥협회)
가족친화기업 인증 (여성가족부)가족친화기업인증(여성가족부)
수출유망중소기업 지정 (중소기업청)수출유망중소기업지정(중소기업청)
중소기업 지식재산경영 인증 (특허청)중소기업지식재산경영인증(특허청)
직무발명보상 우수기업 인증 (특허청)직무발명보상우수기업인증(특허청)
글로벌 IP 기업 지정 (대전테크노파크)글로벌IP기업지정(대전테크노파크)
7건의 특허 보유 (RnDcircle 기준)7건의특허보유(RnDcircle기준)
독자적인 광학 구조의 라이다 센서 개발 관련 다수의 특허 보유독자적인광학구조의라이다센서개발관련다수의특허보유
'비회전형 전방향 라이다', '듀얼 파장을 이용한 라이다' 등 핵심 특허 보유'비회전형전방향라이다','듀얼파장을이용한라이다'등핵심특허보유