측정 및 분석기구 제조업체로, 센서 및 광학 검사·측정 기술을 기반으로 하는 고정밀 측정기기 전문 개발 및 제조 기업. 반도체 및 디스플레이 산업의 나노박막 측정 시스템과 공장 자동화 솔루션 제공. 자율주행차 및 로봇 분야의 라이다(LiDAR) 센서 솔루션 개발을 통한 미래 성장 동력 확보 노력. R&D 중심의 혁신적인 기술 역량 보유. 산업 전반의 정밀 측정 요구에 부응하는 기술력 제공.측정및분석기구제조업체로,센서및광학검사·측정기술을기반으로하는고정밀측정기기전문개발및제조기업.반도체및디스플레이산업의나노박막측정시스템과공장자동화솔루션제공.자율주행차및로봇분야의라이다(LiDAR)센서솔루션개발을통한미래성장동력확보노력.R&D중심의혁신적인기술역량보유.산업전반의정밀측정요구에부응하는기술력제공.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
Gap & Leveling Spacing Tool (MCT Series)은 반도체 및 디스플레이 공정 챔버의 갭 및 레벨링을 측정하는 고정밀 장비. MCT-1000은 유선 방식의 6~9채널 모델로 CVD 챔버의 대형 서셉터에 응용되며, 정밀도 ±1um의 성능. MCT-2000은 무선 방식의 6~16채널 모델로 더 큰 CVD 챔버 서셉터에 적합하며, 정밀도 ±0.2mils의 정밀 측정 능력. MCT-3000은 200mm, 300mm, 450mm 웨이퍼 크기에 대응하는 다양한 모델 구성. MCT-4000은 무선 3채널 모델로 CVD 챔버 웨이퍼 사이즈 서셉터 측정에 특화된 기능.Gap&LevelingSpacingTool(MCTSeries)은반도체및디스플레이공정챔버의갭및레벨링을측정하는고정밀장비.MCT-1000은유선방식의6~9채널모델로CVD챔버의대형서셉터에응용되며,정밀도±1um의성능.MCT-2000은무선방식의6~16채널모델로더큰CVD챔버서셉터에적합하며,정밀도±0.2mils의정밀측정능력.MCT-3000은200mm,300mm,450mm웨이퍼크기에대응하는다양한모델구성.MCT-4000은무선3채널모델로CVD챔버웨이퍼사이즈서셉터측정에특화된기능.
Flatness Measurement Tool (MLL Series)은 반도체 CVD 장비 분야 평탄도 측정, 기구 레벨링 정렬, 자동차 부품 평탄도 관리 등에 적용되는 평탄도 측정 장비. 광원 헤드 자동 회전 방식과 검출기 선형화 정확도 ±3.5um의 기술 사양. 무선 타입으로 실시간 평탄도 측정 방식, 자동 제로 교정, PDA 데이터 수집 기능을 제공하는 편리성.FlatnessMeasurementTool(MLLSeries)은반도체CVD장비분야평탄도측정,기구레벨링정렬,자동차부품평탄도관리등에적용되는평탄도측정장비.광원헤드자동회전방식과검출기선형화정확도±3.5um의기술사양.무선타입으로실시간평탄도측정방식,자동제로교정,PDA데이터수집기능을제공하는편리성.
나노박막 두께 측정 기술은 나노 패턴 형상, 박막 두께, 굴절률, 표면 거칠기를 측정하는 핵심 역량. 파장 범위 RGB/백색광(선택 가능), 재현성 < 0.1nm, 라인 스캔 측정 방식, 라인 해상도 > 1000의 고성능. 200mm(선택) 라인 크기와 200um X 200um의 측정 범위를 갖춘 정밀도.나노박막두께측정기술은나노패턴형상,박막두께,굴절률,표면거칠기를측정하는핵심역량.파장범위RGB/백색광(선택가능),재현성<0.1nm,라인스캔측정방식,라인해상도>1000의고성능.200mm(선택)라인크기와200umX200um의측정범위를갖춘정밀도.
자율주행용 핵심 부품인 라이다 센서를 독자적인 광학 구조로 개발 중인 미래 지향적 기술. GBDR - 챔버 타입 및 GBDR - 인덱스 타입의 Glass Breakage Detector 제품군 보유. MTT-1000, MTT-2000 모델의 측정 및 분석 장비 제공.자율주행용핵심부품인라이다센서를독자적인광학구조로개발중인미래지향적기술.GBDR-챔버타입및GBDR-인덱스타입의GlassBreakageDetector제품군보유.MTT-1000,MTT-2000모델의측정및분석장비제공.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
센서 및 광학 검사·측정 기술을 기반으로 한 고정밀 측정기기 전문 개발 및 제조 역량. 원천 기술인 센서 및 광학 기술을 다양하게 응용하는 능력.센서및광학검사·측정기술을기반으로한고정밀측정기기전문개발및제조역량.원천기술인센서및광학기술을다양하게응용하는능력.
R&D 중심의 기업 경영으로 지속적인 기술 혁신 및 독자적인 광학 기술 확보 노력. 나노 단위의 박막을 측정하는 고속, 대면적 타원계측기 기술 보유.R&D중심의기업경영으로지속적인기술혁신및독자적인광학기술확보노력.나노단위의박막을측정하는고속,대면적타원계측기기술보유.
디스플레이 및 반도체 산업 분야에 특화된 정밀 측정 시스템 제공. 2차 전지, 태양광 등 특수 산업 분야 제조 공정의 파라미터 계측 시스템 개발, 제조, 공급.디스플레이및반도체산업분야에특화된정밀측정시스템제공.2차전지,태양광등특수산업분야제조공정의파라미터계측시스템개발,제조,공급.
자율주행차 및 로봇 분야의 미래 핵심 기술인 라이다 센서 솔루션 개발을 통한 시장 선점 가능성. 공장 자동화 전문 기업으로서 산업 전반의 정밀 측정 요구에 부응하는 종합 기술력.자율주행차및로봇분야의미래핵심기술인라이다센서솔루션개발을통한시장선점가능성.공장자동화전문기업으로서산업전반의정밀측정요구에부응하는종합기술력.
숙련된 전문 기술 인력을 통한 측정 시스템 분석 및 관리, 신뢰성 높은 품질 평가 데이터 제공. 제품 개발부터 제조, 현장 장비 검사 및 부품 수리까지 아우르는 통합 서비스 역량.숙련된전문기술인력을통한측정시스템분석및관리,신뢰성높은품질평가데이터제공.제품개발부터제조,현장장비검사및부품수리까지아우르는통합서비스역량.
적용 산업적용산업
디스플레이 산업 (LCD, PDP 포함)의 제조 공정 및 품질 관리디스플레이산업(LCD,PDP포함)의제조공정및품질관리
반도체 산업의 정밀 계측 및 공정 관리 분야반도체산업의정밀계측및공정관리분야
2차 전지 산업의 품질 관리 및 생산 효율 증대2차전지산업의품질관리및생산효율증대
태양광 산업의 관련 제조 공정태양광산업의관련제조공정
자율주행차 및 로봇 산업의 핵심 부품 개발 및 솔루션 제공자율주행차및로봇산업의핵심부품개발및솔루션제공
자동차 부품의 평탄도 관리 및 품질 검사자동차부품의평탄도관리및품질검사
주요 시장주요시장
중국중국
인증/특허인증/특허
여성가족부로부터 가족친화기업 인증 (2017년). 중소기업청으로부터 수출유망 중소기업 지정 (2017년).여성가족부로부터가족친화기업인증(2017년).중소기업청으로부터수출유망중소기업지정(2017년).
특허청으로부터 중소기업 지식재산 경영인증 및 직무발명보상 우수기업 인증 (2017년). 대전테크노파크로부터 글로벌 IP기업 지정 (2017년).특허청으로부터중소기업지식재산경영인증및직무발명보상우수기업인증(2017년).대전테크노파크로부터글로벌IP기업지정(2017년).
미래창조과학부로부터 연구소기업 등록 (2016년). 대전시청으로부터 대전시 지정 유망중소기업 선정 (2015년). 중소기업청으로부터 고성장기업 지정 (2015년).미래창조과학부로부터연구소기업등록(2016년).대전시청으로부터대전시지정유망중소기업선정(2015년).중소기업청으로부터고성장기업지정(2015년).
한국능률협회로부터 ISO9001 품질경영시스템 인증 (2014년). 기술보증기금으로부터 벤처기업 등록 (2011년). 한국산업기술진흥협회로부터 기업부설연구소 설립 (2011년).한국능률협회로부터ISO9001품질경영시스템인증(2014년).기술보증기금으로부터벤처기업등록(2011년).한국산업기술진흥협회로부터기업부설연구소설립(2011년).
나노박막, 박막두께, 엘립소메트리 관련 국가 R&D 수행 경험을 통한 기술 경쟁력 확보.나노박막,박막두께,엘립소메트리관련국가R&D수행경험을통한기술경쟁력확보.