초정밀 모션컨트롤 시스템 전문 기업으로, 초정밀 스테이지, 나노모션, 리니어 엔코더, 에어 베어링 등을 취급하는 역량 보유. 또한 반도체 제조 공정의 효율성 및 안전성 향상을 위한 부산물 포집 장치, 실시간 가스 분석 시스템, 환경 제어 장치를 전문적으로 제공하는 기업. 급격한 소형화와 고정밀 추세에 부응하는 나노 포지션 기술 개발에 주력하며, 모션, 비전, 소프트웨어 융합 기술을 통한 고객 맞춤형 토탈 솔루션 제공 능력.초정밀모션컨트롤시스템전문기업으로,초정밀스테이지,나노모션,리니어엔코더,에어베어링등을취급하는역량보유.또한반도체제조공정의효율성및안전성향상을위한부산물포집장치,실시간가스분석시스템,환경제어장치를전문적으로제공하는기업.급격한소형화와고정밀추세에부응하는나노포지션기술개발에주력하며,모션,비전,소프트웨어융합기술을통한고객맞춤형토탈솔루션제공능력.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
초정밀 스테이지 제품군은 Align Stage, Miniature Stage, Linear Stage, Z stage, Rotary Stage, Tiling Stage, Dovetail Stage, Micrometer Head 등 다양한 Motorized Stage 및 Manual Stage로 구성. Align Stage는 X, Y, Θ축 조합의 Alignment 구동, Compact Size, 3D Encoder 옵션을 통한 고정밀도 구현이 특징. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러를 활용하여 통합 시스템 솔루션 제공.초정밀스테이지제품군은AlignStage,MiniatureStage,LinearStage,Zstage,RotaryStage,TilingStage,DovetailStage,MicrometerHead등다양한MotorizedStage및ManualStage로구성.AlignStage는X,Y,Θ축조합의Alignment구동,CompactSize,3DEncoder옵션을통한고정밀도구현이특징.자체정밀도보상제어알고리즘을적용한S/W및드라이버컨트롤러를활용하여통합시스템솔루션제공.
나노모션 기술은 급격한 소형화와 고정밀 추세에 대응하기 위한 나노 포지션 기술 개발에 집중. 초정밀 위치 제어에 필수적인 리니어 엔코더 기술과 대형 에어 베어링 스테이지 및 에어 플로팅 시스템 개발 및 양산 능력 보유.나노모션기술은급격한소형화와고정밀추세에대응하기위한나노포지션기술개발에집중.초정밀위치제어에필수적인리니어엔코더기술과대형에어베어링스테이지및에어플로팅시스템개발및양산능력보유.
반도체 제조용 트랩 및 환경 제어 장치는 반도체 생산 장비의 공정 부산물을 포집하여 진공 펌프의 수명을 연장하는 다양한 종류의 트랩과 컨트롤러 제공. TiCl4 트랩, W 트랩, ACL 트랩, 에칭 트랩, 콜드 트랩, 노아 트랩, 히팅 트랩 등 공정별 맞춤형 솔루션 포함.반도체제조용트랩및환경제어장치는반도체생산장비의공정부산물을포집하여진공펌프의수명을연장하는다양한종류의트랩과컨트롤러제공.TiCl4트랩,W트랩,ACL트랩,에칭트랩,콜드트랩,노아트랩,히팅트랩등공정별맞춤형솔루션포함.
실시간 가스 분석 시스템은 O2 TDL Analyzer System을 통해 특정 가스 농도를 실시간으로 분석하고 안전 사고를 방지하는 기능 제공. 클리닝 가스의 온도 보상을 위한 히터 블록 및 제어 컨트롤러 제공. 고객 장비의 효율적 운영 및 경비 절감에 기여하는 ADS (Advanced Data Security) 시스템 제공.실시간가스분석시스템은O2TDLAnalyzerSystem을통해특정가스농도를실시간으로분석하고안전사고를방지하는기능제공.클리닝가스의온도보상을위한히터블록및제어컨트롤러제공.고객장비의효율적운영및경비절감에기여하는ADS(AdvancedDataSecurity)시스템제공.
반도체 장비용 부품 및 트랩, 히터, 모터 등의 수리 서비스 제공을 통한 고객 지원 강화.반도체장비용부품및트랩,히터,모터등의수리서비스제공을통한고객지원강화.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
2000년 창사 이래 대한민국 초정밀 모션컨트롤 분야의 대표 기업으로서 끊임없는 기술 개발과 품질 향상 노력. [database]2000년창사이래대한민국초정밀모션컨트롤분야의대표기업으로서끊임없는기술개발과품질향상노력.[database]
나노 포지션 기술 개발과 모션, 비전, S/W 융합 기술을 통한 고객 맞춤형 토탈 솔루션 제공 역량 보유. [database, 5]나노포지션기술개발과모션,비전,S/W융합기술을통한고객맞춤형토탈솔루션제공역량보유.[database,5]
모션 컨트롤 분야의 부품 국산화, 고객 요구에 대응하는 모듈 개발, OEM 시스템 공동 개발에 역량을 집중하여 기술 경쟁력 확보. 해외 수입에 의존하던 제품들의 국산화 성공 경험.모션컨트롤분야의부품국산화,고객요구에대응하는모듈개발,OEM시스템공동개발에역량을집중하여기술경쟁력확보.해외수입에의존하던제품들의국산화성공경험.
QS-9000, ISO-9001 등의 품질 관리 인증 획득, 구조해석, 진동해석 및 선진 제어기술, 나노미터 측정이 가능한 레이저 인터퍼로미터 등의 검사 장비를 통한 통합 솔루션 제공.QS-9000,ISO-9001등의품질관리인증획득,구조해석,진동해석및선진제어기술,나노미터측정이가능한레이저인터퍼로미터등의검사장비를통한통합솔루션제공.
반도체 공정 부산물 포집 장치의 높은 효율성 및 맞춤형 제작 능력, 에칭 트랩의 12개월 이상, TiCl4 ALD/TiN Non-Stop 트랩의 6개월 이상 등 긴 PM 주기를 통한 설비 가동 시간 극대화.반도체공정부산물포집장치의높은효율성및맞춤형제작능력,에칭트랩의12개월이상,TiCl4ALD/TiNNon-Stop트랩의6개월이상등긴PM주기를통한설비가동시간극대화.
O2 TDL Detector를 활용한 실시간 가스 농도 분석 및 안전 사고 방지 기능, 바이패스형 구조를 통한 트랩 교체 시 공정 중단 최소화 기술.O2TDLDetector를활용한실시간가스농도분석및안전사고방지기능,바이패스형구조를통한트랩교체시공정중단최소화기술.
세계 최초 Abcolute 3D Encoder 개발 및 다양한 스테이지에 적용하는 혁신 기술력.세계최초Abcolute3DEncoder개발및다양한스테이지에적용하는혁신기술력.
적용 산업적용산업
반도체 제조 및 검사 장비 산업: 초정밀 스테이지 및 나노모션 기술을 활용한 웨이퍼 검사, 마스크 정렬, 미세 패터닝 공정 등에 적용.반도체제조및검사장비산업:초정밀스테이지및나노모션기술을활용한웨이퍼검사,마스크정렬,미세패터닝공정등에적용.
디스플레이 제조 및 검사 산업: 고정밀 얼라인 스테이지를 통한 패널 정렬, 불량 검출, 미세 공정 제어 분야에 활용.디스플레이제조및검사산업:고정밀얼라인스테이지를통한패널정렬,불량검출,미세공정제어분야에활용.
광학 및 레이저 장비 산업: 정밀 광학 부품의 위치 제어, 레이저 가공 및 측정 시스템에 필요한 고정밀 모션 솔루션 제공.광학및레이저장비산업:정밀광학부품의위치제어,레이저가공및측정시스템에필요한고정밀모션솔루션제공.
카메라 및 2차전지 제조 분야: 초정밀 위치 제어 스테이지 및 정밀 요소 부품의 사용 증가.카메라및2차전지제조분야:초정밀위치제어스테이지및정밀요소부품의사용증가.
주요 시장주요시장
대만대만
인증/특허인증/특허
바이패스형 반도체 제조 부산물 포집장치 관련 특허 보유 (KR102672167B1).바이패스형반도체제조부산물포집장치관련특허보유(KR102672167B1).
에칭 트랩 컨트롤러의 CE 인증 획득.에칭트랩컨트롤러의CE인증획득.
QS-9000 품질 관리 인증 보유.QS-9000품질관리인증보유.
ISO-9001 품질 관리 인증 보유.ISO-9001품질관리인증보유.
2008년 특허 취득 이력.2008년특허취득이력.
회사 홈페이지에 '인증 및 특허보유 현황' 섹션 존재.회사홈페이지에'인증및특허보유현황'섹션존재.