마이다스시스템
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Mask Aligner
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시리즈
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제품 상세 설명
MDA-600S(Mask Aligner) 는 Z- axis 모션이 모터로 동작하는 반자동 장비 중 가장 컴팩트하고 가격이 경제적 이며, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능합니다.
콤팩트한 장비 사이즈에 방진메커니즘이 기본장착 되어있어, 주로 학교 ,연구소 및 기업체의 준 양산 용으로 적합합니다.
사양
| Type | PC control semi auto |
|---|---|
| Mask size | up to 7" x 7" |
| Substrate size | piece to 6" |
| UV lamp & Power | 350W & power supply |
| Uniform beam size | 6.25" x 6.25" |
| Beam Uniformity | <±4% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | ~25mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 0.8um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ |
| Options | Anti-Vibration table |
| CCD BSA | |
| UV Intensity meter | |
| UV-LED(365nm) exposure module | |
| etc. |