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Mask Aligner
모델명
MDA-400M
시리즈
-
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마이다스시스템(주)

마스크 정렬 노광장치, 스핀코터장비 개발생산업체

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042-936-7620
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제조사
마이다스시스템(주)[바로가기]
제품 타입
기계
브랜드
-
SKU
82198
제품명
Mask Aligner
모델명
MDA-400M
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

MDA-400M(Mask Aligner) 은 합리적인 가격에 높은 성능을 발휘하는 매뉴얼 방식의 마스크 얼라이너로써, 조각부터 최대4인치 시료까지 공정이 가능하고, 장비의 사이즈가 작고 간편한 조작이 특징이며, 주로 학교 연구실 용으로 적합합니다.

사양

Type Fully manual (Mask Aligner)
Mask size up to 5" x 5"
Substrate size piece to 4" dia
UV lamp & Power 350W & power supply
Uniform beam size 4.25" x 4.25"
Beam Uniformity <±3%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~30mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options Anti-Vibration table
UV Intensity meter
etc.
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