마이다스시스템
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Mask Aligner
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제품 상세 설명
MDA-400M(Mask Aligner) 은 합리적인 가격에 높은 성능을 발휘하는 매뉴얼 방식의 마스크 얼라이너로써, 조각부터 최대4인치 시료까지 공정이 가능하고, 장비의 사이즈가 작고 간편한 조작이 특징이며, 주로 학교 연구실 용으로 적합합니다.
사양
| Type | Fully manual (Mask Aligner) |
|---|---|
| Mask size | up to 5" x 5" |
| Substrate size | piece to 4" dia |
| UV lamp & Power | 350W & power supply |
| Uniform beam size | 4.25" x 4.25" |
| Beam Uniformity | <±3% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | ~30mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ |
| Options | Anti-Vibration table |
| UV Intensity meter | |
| etc. |