메카로는 반도체 및 FPD(평판 디스플레이) 산업의 CVD 및 ALD 공정 핵심 부품 전문 기업. 반도체 제조 공정 필수 요소인 메탈 히터블럭과 전구체 개발 및 생산에 주력. 질화알루미늄(AlN) 기반 세라믹 부품과 차세대 태양전지 개발을 통한 사업 다각화 추진 중인 기업. 국내 반도체 부품 시장에서 독보적인 기술력과 시장 점유율을 확보한 선도 기업. 지속적인 연구개발 투자로 첨단 기술 변화에 적극적으로 대응하는 기업.메카로는반도체및FPD(평판디스플레이)산업의CVD및ALD공정핵심부품전문기업.반도체제조공정필수요소인메탈히터블럭과전구체개발및생산에주력.질화알루미늄(AlN)기반세라믹부품과차세대태양전지개발을통한사업다각화추진중인기업.국내반도체부품시장에서독보적인기술력과시장점유율을확보한선도기업.지속적인연구개발투자로첨단기술변화에적극적으로대응하는기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
메탈 히터블럭: 반도체 CVD 공정에서 웨이퍼를 가열하는 핵심 부품. 400℃ 미만 공정에서 정밀한 온도 제어와 균일한 열분포 제공 능력. 국내 최초 개발 및 양산화 성공, 20여년간 축적된 기술력 보유. AlF(불화알루미늄) 표면 코팅 기술을 적용하여 알루미늄 표면 부식 억제 및 이물 생성 저감, 우수한 표면 온도 균일도 제공. 웨이퍼에 정확하고 균일한 열 에너지 공급, Purge Gas 공급 시스템, Vacuum Chucking 시스템 기능 구현.메탈히터블럭:반도체CVD공정에서웨이퍼를가열하는핵심부품.400℃미만공정에서정밀한온도제어와균일한열분포제공능력.국내최초개발및양산화성공,20여년간축적된기술력보유.AlF(불화알루미늄)표면코팅기술을적용하여알루미늄표면부식억제및이물생성저감,우수한표면온도균일도제공.웨이퍼에정확하고균일한열에너지공급,PurgeGas공급시스템,VacuumChucking시스템기능구현.
세라믹 부품: 질화알루미늄(AlN) 등 세라믹 소재를 이용한 부품 개발 진행. 500℃ 이상 고온 공정에 적합한 AlN 세라믹 히터블럭 개발 추진 중. 일본이 전 세계 시장의 90%를 독점하는 세라믹 히터 시장에 도전, 고객사 파이널 퀄 테스트 막바지 단계 진입. 향후 전력소자, 통신장비, 배터리팩 등으로 적용 범위를 넓힐 계획.세라믹부품:질화알루미늄(AlN)등세라믹소재를이용한부품개발진행.500℃이상고온공정에적합한AlN세라믹히터블럭개발추진중.일본이전세계시장의90%를독점하는세라믹히터시장에도전,고객사파이널퀄테스트막바지단계진입.향후전력소자,통신장비,배터리팩등으로적용범위를넓힐계획.
전구체: 반도체 제조 공정에서 박막 증착에 사용되는 액상 화학물질. ALD/CVD precursor 설계 기술 및 지르코늄(Zr) 계열 전구체(ZM40) 개발 및 양산 성공. 원천 특허를 보유하며 국내 고객사에 독점 공급 계약 체결 이력. 2022년 소재사업부문(엠케미칼)을 분할 매각하며 히터블럭 중심의 사업 구조로 전환.전구체:반도체제조공정에서박막증착에사용되는액상화학물질.ALD/CVDprecursor설계기술및지르코늄(Zr)계열전구체(ZM40)개발및양산성공.원천특허를보유하며국내고객사에독점공급계약체결이력.2022년소재사업부문(엠케미칼)을분할매각하며히터블럭중심의사업구조로전환.
차세대 에너지 솔루션 (메카로에너지): CVD 방식의 CIGS(구리·인듐·갈륨·셀레늄) 박막 태양전지 개발. 페로브스카이트 태양전지 및 투명 태양전지 개발을 통한 신재생에너지 사업 진출. 경량·고효율의 신재생에너지 솔루션으로 스마트팜, 온실, 방음벽, BIPV 및 창호 시장 적용 목표. CIGS-페로브스카이트 탠덤 태양전지 개발로 고효율화 및 다양한 공급망 확보 추진.차세대에너지솔루션(메카로에너지):CVD방식의CIGS(구리·인듐·갈륨·셀레늄)박막태양전지개발.페로브스카이트태양전지및투명태양전지개발을통한신재생에너지사업진출.경량·고효율의신재생에너지솔루션으로스마트팜,온실,방음벽,BIPV및창호시장적용목표.CIGS-페로브스카이트탠덤태양전지개발로고효율화및다양한공급망확보추진.
기타 제품: Susceptor, Asher 등 반도체 및 FPD 공정용 부품류.기타제품:Susceptor,Asher등반도체및FPD공정용부품류.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
독보적인 히터블럭 기술력: 국내 최초로 히터블럭을 개발하고 양산화한 기술력과 20여 년간 축적된 노하우 보유. 반도체 선폭 미세화 추세에 따라 고성능 히터블럭 수요 증가에 대응하는 기술적 우위 확보.독보적인히터블럭기술력:국내최초로히터블럭을개발하고양산화한기술력과20여년간축적된노하우보유.반도체선폭미세화추세에따라고성능히터블럭수요증가에대응하는기술적우위확보.
차별화된 AlF 표면 코팅 기술: 국내에서 유일하게 AlF(불화알루미늄) 표면 코팅 기술을 적용한 히터블럭 생산 능력. 알루미늄 표면 부식 억제, 이물 생성 저감, 우수한 표면 온도 균일도 제공으로 제품 경쟁력 강화.차별화된AlF표면코팅기술:국내에서유일하게AlF(불화알루미늄)표면코팅기술을적용한히터블럭생산능력.알루미늄표면부식억제,이물생성저감,우수한표면온도균일도제공으로제품경쟁력강화.
고객 맞춤형 설계 및 시뮬레이션 역량: 설계 단계부터 열분포 및 열응력 해석 시뮬레이션을 진행하여 적합성이 우수한 제품을 단기간에 개발. 고객의 특수한 공정 환경을 고려한 맞춤형 설계 서비스 제공으로 최적의 성능 보장.고객맞춤형설계및시뮬레이션역량:설계단계부터열분포및열응력해석시뮬레이션을진행하여적합성이우수한제품을단기간에개발.고객의특수한공정환경을고려한맞춤형설계서비스제공으로최적의성능보장.
확고한 시장 지위 및 고객 신뢰: 국내 삼성전자 및 SK하이닉스 기준 메탈 히터블럭 시장점유율 90% 이상 유지. 주요 고객사와의 장기적인 신뢰 관계 및 공정 기술 기반의 문제 해결 지원을 통한 안정적인 매출 기반 구축.확고한시장지위및고객신뢰:국내삼성전자및SK하이닉스기준메탈히터블럭시장점유율90%이상유지.주요고객사와의장기적인신뢰관계및공정기술기반의문제해결지원을통한안정적인매출기반구축.
기술 국산화 및 가격 경쟁력: 해외 제품에 의존하던 히터블록의 국산화에 최초로 성공. 수입품 대비 절반 이상 저렴한 단가로 가격 경쟁력 확보 및 국내 반도체 산업의 공급망 안정화 기여.기술국산화및가격경쟁력:해외제품에의존하던히터블록의국산화에최초로성공.수입품대비절반이상저렴한단가로가격경쟁력확보및국내반도체산업의공급망안정화기여.
지속적인 사업 다각화 노력: 메탈 히터블럭 사업의 안정적 성장과 함께 질화알루미늄(AlN) 세라믹 부품, CIGS 태양전지 등 신규 사업 개발을 통한 미래 성장 동력 확보. 중앙연구소를 통한 미래 성장 동력인 세라믹 부품 및 소재 개발에 집중.지속적인사업다각화노력:메탈히터블럭사업의안정적성장과함께질화알루미늄(AlN)세라믹부품,CIGS태양전지등신규사업개발을통한미래성장동력확보.중앙연구소를통한미래성장동력인세라믹부품및소재개발에집중.
적용 산업적용산업
반도체 산업 (CVD, ALD 공정용 히터블럭, 전구체, 부품)반도체산업(CVD,ALD공정용히터블럭,전구체,부품)
FPD(평판 디스플레이) 산업 (CVD, ALD 공정용 히터블럭, 부품)FPD(평판디스플레이)산업(CVD,ALD공정용히터블럭,부품)
신재생에너지 산업 (CIGS, 페로브스카이트, 투명 태양전지)신재생에너지산업(CIGS,페로브스카이트,투명태양전지)