(주)엘오티베큠은 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 등 첨단 산업에 필수적인 건식진공펌프를 국산화하여 공급하는 대한민국 유일의 진공 전문기업. 최고의 기술력과 서비스로 글로벌 기업들과 경쟁하며 국내 반도체 제조공정 건식진공펌프 시장 1위를 점유하는 기업. 독자적인 연구개발과 고객 만족 경영을 통해 세계 시장을 선도하는 역량.(주)엘오티베큠은반도체,디스플레이,태양광,2차전지등첨단산업에필수적인건식진공펌프를국산화하여공급하는대한민국유일의진공전문기업.최고의기술력과서비스로글로벌기업들과경쟁하며국내반도체제조공정건식진공펌프시장1위를점유하는기업.독자적인연구개발과고객만족경영을통해세계시장을선도하는역량.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
주요 제품군은 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 및 일반 산업용 건식진공펌프. Leybold Vacuum 독일 사업부 인수를 통해 축적된 기술과 노하우를 기반으로 다양한 시리즈의 건식 스크류 펌프를 개발. DuraDry™ Series는 혁신적인 Split-Flow Screw Design을 채택하여 반도체 및 LCD 공정의 성능과 신뢰성을 향상시킨 제품.주요제품군은반도체,디스플레이,태양광,2차전지및일반산업용건식진공펌프.LeyboldVacuum독일사업부인수를통해축적된기술과노하우를기반으로다양한시리즈의건식스크류펌프를개발.DuraDry™Series는혁신적인Split-FlowScrewDesign을채택하여반도체및LCD공정의성능과신뢰성을향상시킨제품.
HD 시리즈는 공정용, LD 시리즈는 로드락, 이송 및 경미한 공정용으로 에너지 효율성을 강조한 모델. VD 시리즈는 일반 산업용으로 폭넓게 적용 가능한 제품군. GD 시리즈는 듀얼 스크류 디자인을 기반으로 평판 디스플레이, OLED/LED, 태양광 PV, 450mm 반도체 제조 등 까다로운 응용 분야에 적합한 제품.HD시리즈는공정용,LD시리즈는로드락,이송및경미한공정용으로에너지효율성을강조한모델.VD시리즈는일반산업용으로폭넓게적용가능한제품군.GD시리즈는듀얼스크류디자인을기반으로평판디스플레이,OLED/LED,태양광PV,450mm반도체제조등까다로운응용분야에적합한제품.
GHD 시리즈는 산업용, 대규모 LCD 및 태양광 응용 분야를 위한 대용량 건식 펌프로, 단일 스테이지 펌핑 용량이 최대 2,200 M3/Hr에 달하며 부스터 블로워 추가 시 10,000 M3/Hr 이상으로 확장 가능한 성능. 이러한 제품들은 고배기, 저소음, 저전력 소비, 소형화 등 뛰어난 기술적 특성을 보유.GHD시리즈는산업용,대규모LCD및태양광응용분야를위한대용량건식펌프로,단일스테이지펌핑용량이최대2,200M3/Hr에달하며부스터블로워추가시10,000M3/Hr이상으로확장가능한성능.이러한제품들은고배기,저소음,저전력소비,소형화등뛰어난기술적특성을보유.
핵심 기술로는 스크류 및 다양한 회전체 형상 설계 기술, Multi-Type Hybrid Screw 메커니즘 특허 보유. 공정 중 발생하는 부산물을 효과적으로 처리하는 Heavy Duty Application 처리 능력. 또한, 챔버와 펌프 사이의 배관에 플라즈마를 이용해 가스와 부산물을 처리하는 PPS(Plasma Pre-treatment System) 및 배기가스를 처리하는 APS(After Treatment Plasma System)를 포함한 Total Exhaust System(TES) 솔루션 제공.핵심기술로는스크류및다양한회전체형상설계기술,Multi-TypeHybridScrew메커니즘특허보유.공정중발생하는부산물을효과적으로처리하는HeavyDutyApplication처리능력.또한,챔버와펌프사이의배관에플라즈마를이용해가스와부산물을처리하는PPS(PlasmaPre-treatmentSystem)및배기가스를처리하는APS(AfterTreatmentPlasmaSystem)를포함한TotalExhaustSystem(TES)솔루션제공.
차세대 기술 개발에도 적극적으로 투자하며, 정부 지원을 받는 국책 과제로 초고진공 터보 분자 펌프를 개발 중인 역량. 이러한 기술적 역량은 반도체 미세화 및 3D/4D 통합과 같은 복잡한 공정 요구사항에 대응하는 핵심 경쟁력.차세대기술개발에도적극적으로투자하며,정부지원을받는국책과제로초고진공터보분자펌프를개발중인역량.이러한기술적역량은반도체미세화및3D/4D통합과같은복잡한공정요구사항에대응하는핵심경쟁력.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
대한민국 유일의 진공 전문기업으로서 반도체 제조공정 건식진공펌프 분야에서 국내 시장 점유율 1위를 차지하는 독보적인 위치. 건식진공펌프의 국산화에 성공하여 해외 의존도를 낮추고 기술 자립화를 이룬 선도적인 역할.대한민국유일의진공전문기업으로서반도체제조공정건식진공펌프분야에서국내시장점유율1위를차지하는독보적인위치.건식진공펌프의국산화에성공하여해외의존도를낮추고기술자립화를이룬선도적인역할.
독일 Leybold Vacuum사로부터 건식진공펌프 사업부문을 인수하며 150년 역사의 기술과 노하우를 흡수, 자체 연구개발 역량을 강화. 이를 통해 Multi-Type Hybrid Screw 메커니즘 특허 등 다수의 핵심 기술을 자체적으로 보유하며 세계 유수 선두업체들과 대등하게 경쟁하는 기술력.독일LeyboldVacuum사로부터건식진공펌프사업부문을인수하며150년역사의기술과노하우를흡수,자체연구개발역량을강화.이를통해Multi-TypeHybridScrew메커니즘특허등다수의핵심기술을자체적으로보유하며세계유수선두업체들과대등하게경쟁하는기술력.
고객과의 근접성을 활용한 신속한 대응 및 현장 수리 서비스 제공으로 뛰어난 고객 만족도를 확보하는 역량. 24시간 서비스 체제와 고객 요구에 최적화된 제품 개발로 시장 점유율을 지속적으로 확대하는 전략.고객과의근접성을활용한신속한대응및현장수리서비스제공으로뛰어난고객만족도를확보하는역량.24시간서비스체제와고객요구에최적화된제품개발로시장점유율을지속적으로확대하는전략.
반도체, 디스플레이뿐만 아니라 태양광, 2차전지, 일반 산업 등 다양한 산업 분야로 제품 라인업을 확장하며 매출처를 다변화하는 성장 동력. 특히 태양광 분야에서 중국 시장 내 30% 이상의 점유율을 바탕으로 수주를 확대하는 추세.반도체,디스플레이뿐만아니라태양광,2차전지,일반산업등다양한산업분야로제품라인업을확장하며매출처를다변화하는성장동력.특히태양광분야에서중국시장내30%이상의점유율을바탕으로수주를확대하는추세.
미세하고 난이도 높은 반도체 Harsh 공정에서도 검증된 기술력과 제품력을 제공하며, ALD(Atomic Layer Deposition)와 같은 신규 증착 기술에서 발생하는 응축 및 부식 문제에 대응하는 솔루션.미세하고난이도높은반도체Harsh공정에서도검증된기술력과제품력을제공하며,ALD(AtomicLayerDeposition)와같은신규증착기술에서발생하는응축및부식문제에대응하는솔루션.
ESG 경영을 실천하며 지속 가능한 성장을 추구하고, 에너지 효율 목표제 우수기업 수상, 온실가스 감축 표창 등 사회적 책임을 다하는 기업 이미지.ESG경영을실천하며지속가능한성장을추구하고,에너지효율목표제우수기업수상,온실가스감축표창등사회적책임을다하는기업이미지.
코스닥 상장 이후 World Class 300 기업 선정, 무역의 날 수출의 탑 수상 등 대외적으로 인정받는 기업 위상.코스닥상장이후WorldClass300기업선정,무역의날수출의탑수상등대외적으로인정받는기업위상.
삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 및 디스플레이 제조사들과의 오랜 협력 관계를 통해 안정적인 매출처를 확보하고, 고객사 내 점유율을 지속적으로 확대하는 전략.삼성전자,SK하이닉스등국내주요반도체및디스플레이제조사들과의오랜협력관계를통해안정적인매출처를확보하고,고객사내점유율을지속적으로확대하는전략.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 메모리, 파운드리, 전력반도체 제조 공정의 에칭 및 증착 공정 등 전반적인 공정에 필수적인 진공 환경 제공.반도체산업:메모리,파운드리,전력반도체제조공정의에칭및증착공정등전반적인공정에필수적인진공환경제공.
디스플레이 산업: 평판 디스플레이(FPD), LCD, OLED/LED 제조 공정에 필요한 진공 솔루션 공급.디스플레이산업:평판디스플레이(FPD),LCD,OLED/LED제조공정에필요한진공솔루션공급.
태양광 산업: 태양광 패널 생산의 증착 및 식각 공정 등 고진공 상태가 요구되는 핵심 공정에 적용.태양광산업:태양광패널생산의증착및식각공정등고진공상태가요구되는핵심공정에적용.
2차전지 산업: 2차전지 제조 공정에서 진공이 필요한 다양한 단계에 기여.2차전지산업:2차전지제조공정에서진공이필요한다양한단계에기여.
일반 산업: 화학, 제약, 철강, 자동차, 전자, 의료, 연구소 등 광범위한 산업 분야에서 진공 펌프 및 관련 솔루션 활용.일반산업:화학,제약,철강,자동차,전자,의료,연구소등광범위한산업분야에서진공펌프및관련솔루션활용.
주요 시장주요시장
대한민국, 중국대한민국,중국
독일독일
미국미국
인증/특허인증/특허
Multi-Type Hybrid Screw 메커니즘에 대한 특허 보유. 전 세계적으로 24개의 특허를 보유하며 지속적인 R&D 투자에 집중하는 기술력.Multi-TypeHybridScrew메커니즘에대한특허보유.전세계적으로24개의특허를보유하며지속적인R&D투자에집중하는기술력.
2024년 에너지효율 목표제 우수기업 수상 (한국에너지공단). 2024년 산업포장 (행정안전부장관) 수상.2024년에너지효율목표제우수기업수상(한국에너지공단).2024년산업포장(행정안전부장관)수상.