레이저앤피직스
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Excimer laser micro machining system
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제품 상세 설명
제품 사양
- Excimer laser micro machining system
제품 설명
| Model | LPS-EKF100 |
| Laser type | KrF |
| Wave lenght | 248 mm |
| Pulse repetition rate | < 200 Hz |
| Average energy | < 100mJ |
| Power stability | 5 % |
| Warming up | 30 min. |
| Gas lifetime | 20 x 10e6 pulses |
| Beam dimension | 10 x 20 ㎟ |
| Beam divergence | 3 x 10 mrad |
| Laser tube lifetime | 1 x 10e8 pulses |
| Cooling | water |
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