레이저앤피직스
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Excimer laser annealing system
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제품 상세 설명
Products Detail
Excimer laser annealing system
Products Introduction
| Model | LPA-EXA100 |
| Laser type | XeCl |
| Wave Length | 308 mm |
| Pulse repetion rate | < 30 Hz |
| Average energy | < 500mJ |
| Power stability | 5 % |
| Warming up | 30 min. |
| Gas lifetime | 20 x 10e6 pulses |
| Beam dimension | 10 x 20 ㎟ |
| Beam divergence | 3 x 10 mrad |
| Laser tube lifetime | 1 I 109 pulses |
| Cooling | Water |
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