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초고진고용 펌프
모델명
-
시리즈
진공계측기
자료
-
구매정보
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제조사
케이브이씨[바로가기]
브랜드
-
SKU
52873
제품명
초고진고용 펌프
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

구조 및 원리

케이브이씨 초고진고용 펌프  2

- 오일증기가 아래쪽을 향하여 분사되어 배기되는 가스 분자가 분사류속으로 확산하여 분사류 방향으로 압축되어 배기된다. 

- 펌프용기, 확산펌프오일, 오일을 가열 증발시키는 보일러 열원인 히터, 증발된 오일을 분사시미는 젯트로 구성, 펌프용기에 오일증기를 응축시켜 액체로 되돌리기 위한 수냉관이 감겨져 있다.

- 펌프용기 아래쪽벽에 압축된 가스분자를 후단의 오일 회전 펌프로 보내기 위해 배기구를 설치한다. 

- 펌프용기는 항아리 타입과 원통형으로 제작되는 것이 보통이며 재질은 스텐레스를 주로 사용하며 COLD TRAP을 흡입구측에 설치하면 더 높은 진공도를 얻을 수 있다. 
 

케이브이씨 초고진고용 펌프  3

모 델

WSDP-4

WSDP-8

WSDP-10

WSDP-15

WSDP-18

WSDP-22

WSDP-28

특 징

배기속도[l/sec]

600

2000

3000

5000

9000

12000

25000

-보수점검 용이

-빠른 배기속도

-Body:SUS304

도달압력[Torr]

10-7

10-7

10-7

10-7

10-7

10-7

10-7

임계배압[Toor]

0.2

0.2

0.2

0.25

0.25

0.3

0.3

흡 입 구[inch]

4

8

10

15

18

22

28

배 기 구[inch]

1

1 1/2

2

2 1/2

4

6

6

소요전력[kW]

0.7

2

3

6

5.4(6.5)

6(8)

9(13)

펌프오일[l]

0.2

0.5

0.9

1.5

3

5

8

냉각수량[l/min]

1.5

2.5

5

8

10

12

15

예열시간[min]

15

20

22

25

30

35

40

▶ F100/110, F100/110T, F100/110N Turbomolecular Pumps

TypeF100/110F100/110TFX100/110D
UHV FlangeDN100LFDN100CFDN100LFDN100CFDN100LFDN100CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)110110110
Compression RatioN2:>108>108>108
 H2:5x1025x1025x102
Ultimate Vacuum(Pa) 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF25KF25KF25
BearingMetal Ball BearingsCeramic Ball Bearing 
Start-up Time(min)<2<2<2
Rotational Speed(rpm)423004230042300
Cooling RquirementsWater&AirWater&AirWater&Air
Operating PositionVertical Or HorizonalVertical Or HorizonalVertical Or Horizonal
Weight(Kg)888
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ F100/110, F100/110T, F100/110N Turbomolecular Pumps

TypeF160/450F160/450TF160/450N
UHV FlangeDN160LFDN150CFDN160LFDN150CFDN160LFDN150CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)450450450
Compression RatioN2:>108>108>108
 H2:103103103
Ultimate Vacuum(Pa) 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF40KF40KF40
BearingMetal Ball BearingsCeramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<5<5<5
Rotational Speed(rpm)240002400024000
Cooling RquirementsWaterWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Vertical ±5°Vertical ±5°
Weight(Kg)303030
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ F160/450, F160/450T, F160/450N Turbomolecular Pumps

TypeF160/620F160/620ZF160/620N
UHV FlangeDN160LFDN150CFDN160LFDN150CFDN160LFDN150CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)600600600
Compression RatioN2:>109>109>109
 H2:6x1036x1036x103
>Ultimate Vacuum(Pa) 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF40KF40KF40
BearingMetal Ball BearingsGrease Lubricate Ceramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<5<5<5
Rotational Speed(rpm)240002400024000
Cooling RquirementsWaterWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Any DirectionVertical ±5°
Weight(Kg)323232
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ F160/620, FF160/620Z, FF160/620N Compound Molecular Pumps

TypeFF160/800FF160/800ZFF160/800N
UHV FlangeDN160LFDN150CFDN160LFDN150CFDN160LFDN150CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)800800800
Compression RatioN2:>109>109>109
 H2:6x1036x1036x103
Ultimate Vacuum(Pa)> 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF40KF40KF40
BearingMetal Ball BearingsGrease Lubricate Ceramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<5<5<5
Rotational Speed(rpm)270002700027000
Cooling RquirementsWaterWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Any DirectionVertical ±5°
Weight(Kg)353535
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ FF160/800, FF160/800T, FF160/800N Compound Molecular Pumps

TypeFF200/1200FF200/1200ZFF200/1200N
UHV FlangeDN200LFDN200CFDN200LFDN200CFDN200LFDN200CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)120012001200
Compression RatioN2:>109>109>109
 H2:6x1036x1036x103
Ultimate Vacuum(Pa) 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF40KF40KF40
BearingMetal Ball BearingsGrease Lubricate Ceramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<5<5<5
Rotational Speed(rpm)240002400024000
Cooling RquirementsWaterWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Any DirectionVertical ±5°
Weight(Kg)454545
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ FF200/1200, FF200/1200T, FF200/1200N Compound Molecular Pumps

TypeF250/1500F250/1500TF250/1500N
UHV FlangeDN250LFDN250CFDN250LFDN250CFDN250LFDN250CF
Order No.      
Pumping Speed (L/s)150015001500
Compression RatioN2:>108>108>108
 H2:5x1025x1025x102
Ultimate Vacuum(Pa) 6x10-8* 6x10-8* 6x10-8*
6x10-6 6x10-6 6x10-6 
 6x10-7 6x10-7 6x10-7
Output FlangeKF50KF50KF50
BearingMetal Ball BearingsCeramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<8<8<8
Rotational Speed(rpm)210002100021000
Cooling RquirementsWaterWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Vertical ±5°Vertical ±5°
Weight(Kg)606060
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.

▶ F250/1500, F250/1500T, F250/1500N Turbomolecular Pumps

TypeF400/3500F400/3500T
UHV FlangeDN400LFDN400LF
Order No.  
Pumping Speed (L/s)35003500
Compression RatioN2:>108>108
 H2:5x1025x102
Ultimate Vacuum(Pa)6x10-66x10-7*6x10-66x10-7*
Output FlangeLF100LF100
BearingCeramic Ball BearingCeramic Ball Bearing
Start-up Time(min)<35<35
Rotational Speed(rpm)1350013500
Cooling RquirementsWaterWater
Operating PositionVertical ±5°Vertical ±5°
Weight(Kg)9090
* to acquired the parameter, its backing pump are vane pump + oil diffusion pump.
케이브이씨진공제품 전문 제조업체, 진공계, 진공게이지, 진공계측기, 센서, KVC, 부품, 산업용계측기 등
'진공(Vacuum)' 이란 생소한 개념으로 국산화에 도전한지 10여년이 넘은 시간이 흐른 지금은 진공만이 살길이라는 확신을 얻는 소득을 얻었습니다. 반도체, 디스플레이, LCD, 의학, 화학, 전기 전자 등 첨단산업에서 절대적으로 필요한 이 분야에 대한 관심과 노력이 조금 더 일찍 시작했더라면 하는 아쉬움이 가득하며 외국의 유명브랜드를 업고서 좌지우지하느 시장 상황에 안타까울 뿐입니다. 당산느 비록 자금력과 Brand Power 면에서의 불리를 무릅쓰고 외국제품들과의 경쟁을 위해 기술력과 가격경쟁력 그리고 적기 납품에 승부를 걸겠습니다. 또한 신사업으로 그동안 오랫동안 근무한 축적도니 기술력을 바탕으로 진공분야와 연계되는 산업용 제어계측기 분야에 고객과 함께하고자 합니다 고객의 격려와 관심을 고대하며 작지만 강한 계측기 전문회사가 되고자 노력하는 케이브이씨 임직원 일동의 열정을 받아주시기 바랍니다.
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