부스터 펌프 by 케이브이씨 - 코머신 판매자 소개 및 제품 소개

케이브이씨

032-234-3030

홈 기업찾기 케이브이씨

1/1

케이브이씨

부스터 펌프

모델명

시리즈

진공계측기

구매 안내

아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.

결제 방법

제조사/판매자에게 문의 바랍니다.

납기 정보

제조사/판매자에게 문의 바랍니다.

배송 정보

제조사/판매자에게 문의 바랍니다.

원산지

제조사/판매자에게 문의 바랍니다.

032-234-3030

제품 상세 설명

특징

메카니칼 부스터 펌프는 성능이 낮은 펌프와 조합하여 사용하는 것에 의해 성능이 낮은 펌프의 배기속도가 떨어지는 영역을 대폭 향상시킬수 있다. 성능이 낮은 펌프를 2단형의 오일회전 진공 펌프로 하면10-3∼수Torr정도의 최대 능력을 얻을 수 있다. 따라서 이 특징에 의해 다음과 같은 큰 잇점을 갖고 있다.

(1) 10-3∼수Torr에 걸쳐 가스를 유동시키면서 챔버내의 압력을 유지하지 않으면 안되므로, 대단히 큰 오일 회전 진공펌프가 필요하게 되고 만다.
　⇒ 이러한때는 메카니칼 부스터 펌프의 사용이 최적이다. 작은 오일 회전진공 펌프와의 조합으로 되기 때문에 배기계가 콤팩트하게 된다.
(2) 배기시간을 단축하고 싶을 경우에도 최적이다.

구조 및 원리

메카니칼 부스터 펌프는 케이싱내에 있는 2개의 누에고치형 로터가 그 축단의 구동기어에 의해 상호 반대방향으로 등속회전하도록 되어있다. 흡입구로 들어온 기체는 케이싱과 로터사이의 공간에 밀폐된채 로터의 회전으로 배기구측으로 배출되어져 후단의 보조펌프로 대기중에 방출된다.
로터는 로타사이 및 케이싱과 아주작은틈(0.1∼0.3mm)을 유지하고 회전하기 때문에, 로터실 내에는 윤활유를 필요로 하지 않는다. 따라서 오일이 필요없는 진공배기가 가능하게 되는 셈이다.
또한, 로터는 고속회전할 수 있어 케이싱과의 사이에 마찰의 염려도 없다.

케이브이씨 부스터 펌프 2

케이브이씨 부스터 펌프 3

DIM MODEL	A	B	C	D	E	F	G	H	I	J	K	L
WMB-300	530	120	292	191	140	139	290	80A	80A	42	ø25	ø14
WMB-700	662	142	381	267	203	159	362	100A	100A	52	ø28	ø14
WMB-1300	772	173	438	368	267	254	521	150A	150A	65	ø32	ø16
WMB-2000	874	173	540	368	267	254	521	200A	200A	65	ø35	ø16
WMB-3500	1080	230	648	455	346	305	651	300A	300A	85	ø40	ø20

DISCRIPTION MODEL	PUMP SPEED R.P.M	CAPACITY ㎥/min	MOTOR kw(P)	SUCTION PORT DISCHARGE PORT mm(in)	COOLING WATER ℓ/min	LUBBRICATING OIL ℓ	WEIGHT kg
WMB-300	1750	5	1.5(4P)	80 x 80(3")	2	0.5	82
	2675	8
WMB-700	1750	12	2.2(4P)	100 x 100(4")	2	1.5	120
	2675	17.5
WMB-1300	1750	20	5.5(4P)	150 x 150(6")	2	2	280
	2675	30
WMB-2000	1750	35	7.5(4P)	200 x 200(8")	3	2	350
	2675	50
WMB-3500	1750	55	11(4P)	250 x 250(10")	5	3	650

케이브이씨 부스터 펌프 4

구 분	MBS-010
제원	50Hz	60Hz
실효배기속도 [㎥/h]	10	12
도달압력 [Pa]	3 x 10-4 (4 x 10-2)
모터	Single phase, 100V, 150W, 2 poles, capacitor run
전부하전류 [A]	2.8	2.8
회전수 [rpm]	2650	3200
유량 [mL]	150
사용유	SMR-100
질량 [kg]	7.8
흡기관 [B]	1(VG-25)
배기관 [B]	1(VF-25)
최대흡입압 [Pa]	30 (4 x 103)
표준보조펌프	GVD-050A,GLD-050,GCD-050XA
온도범위 [℃]	7 ∼ 40
크기 [mm]	153.5(W) x 363(L) x 123(H)

구 분		MBS-030		MBS-050
제원		50Hz	60Hz	50Hz	60Hz
실효배기속도 [㎥/h]		30	36	50	60
도달압력 [Pa]		3 x 10-4 (4 x 10-2)
모터		Single phase, 100V, 150W, 2 poles, capacitor run
전부하전류 [A]	Single phase	6.5	6.0	6.5	6.0
	Three phase	3.3	3.0	3.3	3.0
회전수 [rpm]		2910	3500	2910	3500
유량 [mL]		250		320
사용유		SMR-100		SMR-100
질량 [kg]		14		16
흡기관 [B]		1(VG-25)		1½(VG-40)
배기관 [B]		1(VF-25)		1½(VF-40)
최대흡입압 [Pa]		30 (4 x 103)		30 (4 x 103)
표준보조펌프		GVD-135A,GLD-135,GCD-135XA		GVD-200A,GLD-200,GCD-200XA
온도범위 [℃]		7 ∼ 40		7 ∼ 40
크기 [mm]		172(W) x 488(L) x 145(H)		175(W) x 518(L) x 160(H)

케이브이씨 부스터 펌프 5

분 류		모터직결형							벨트구동		알루미늄형
형 식		RD302	RD600	RD1200	RD1500	RD1510	RD2500	RD2510	R6002	R12001	RA100	RA1200
흡배기 속도	50Hz ㎥/h	250	500	1000	1350		2070		6000	12000	90	1000
	60Hz ㎥/h	300	600	1200	1630		2500				110	1200
허용 압력차	50Hz kPa	9.3		5.3	9.3	19	6.7	19	4.7	4.0	9.3	6.0
	60Hz kPa	8		4.7	8.0	16	5.3	15			8.0	5.3
도달 압력	1단 Pa	7 x 10-2
	2단 Pa	1.3 x 10-2
기준보조펌프의 배기속도 ㎥/h		36 ~100	90 ~220	180 ~220	220~450		450~600		690 ~900	900 ~1200	18 ~36	180 ~600
소음 dB(A)		70 이하									65
진동 ㎛		20 이하							50이하		10이하	20이하
회전수	50Hz r/min	3000	1500	3000	1500				1200	1030	3000
	50Hz r/min	3600	1800	3600	1800						3600
표준모터출력 kW		1.5	2.2	3.7	5.5	11	5.5	15	11	22	0.4	3.7
유량 L		1.0	2.8	2.8	4.2		5.6		2.5	5.9	0.35	2.5
냉각수량			0.4						1.1	1.5	0.06	0.18
질량	모터 kg	100	250	280	510		670		1060	3010	25	150
	비모터 kg	.	.	.	460		620		940	2800	17	115
표준도장색		7.5BG6/1.5									2.5GY7.0/2.0
허용주정온도 ℃		회전시/보관시 +10 ∼ +40 / -5 ∼ +60
용량 ㎥		0.4	0.7	0.75	0.75		1.5		3.2	6.9	0.4	0.7
질량 kg		200	370	385	600		780		1320	3550	200	370

문의하기