K2MDP

흡입압력20~1X10-3Torr 까지의 영역에서 비교적 소용량의 Dry Type Vacuum Pump의 흡입측에 대용량의 Roots Mechanical Vacuum Booster를 직렬로 조합한 형식으로 Dry Type Vacuum Pump 단독운전비용보다 저렴한 운전비용으로 공정의 안정화를 기할수 있고 배기능력도600~3600m3/Hr 까지 적용범위가 다양하며 운전진공도를 일정하게 유지할 수 있다. 또한 Oil 및 Water Free Type 이므로 폐유 및 폐수 발생이 전혀 없다. 1단형 Dry Type Vacuum Pump 는 배기용량(2~13㎥/min)이 한정되어 있기 때문에 고용량을 배기할 경우에는 Roots Type Mechanical Vacuum Booster를 조합해 사용해야 한다.  

 

K3MDP

Dry Type Vacuum Pump의 흡입측에 Roots Type Mechanical Vacuum Booster를 단3단형으로 직렬 조합한 형식으로 대용량 1500~18000m3/Hr 및 고진공 20~1X10-3Torr에 적합하여 응축성 증기함량이 많은 공정에 사용되어지며 2단형과 같이 Oil 및 Water Free Type 이므로 폐유 및 폐수발생이 전혀 없고 대용량이지만 운전비용이 저렴하다.