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ULPA Filter - Separator Filter

모델명

시리즈

ULPA


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제품 상세 설명

특징 및 적용

- 0.1㎛ 기준 99.999999%

- 초박형이고 저압손형임

- 경량이고 설치 및 취급이 용이함

- CLASS 1이하의 반도체 공정에 적용



재질 및 사용 조건

구분

재질

MEDIA

GLASS-FIBER

FRAME

ALUMINUM

SEALANT

POLY-URETHANE

GASKET

NEOPRENE RUBBER, EPDM

최고 사용온도

60℃

최고 사용습도

100 % RH





표준사양

규격 (MM)

H X W X D

풍량

(CMM)

압력손실(MMAQ)

중량

(kg)

초기

말기

610 X 305 X 65

4.5

19

30

2.0

610 X 610 X 65

10

3.7

610 X 1220 X 65

20

7.2

610 X 305 X 85

4.5

17

30

3.1

610 X 610 X 85

10

5.0

610 X 1220 X 85

20

8.9

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