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  • (주)져스텍

    Gen. 4.5 Hybrid 에어베어링 스테이지
    모델
    -
    시리즈
    모션 스테이지

    제품 소개

    Specification

    X₁, X₂

    Y

    작업영역

    2,100mm

    400mm

    가이드

    Air bearing

    LM bearing

    부하질량

    250kg

    40kg

    속도

    800mm/sec

    가속도

    2m/sec²

    위치정밀도(보정후)

    4㎛

    반복정밀도

    ±1㎛

    옵션사양

    Theta axis

    응용분야

    LCD 패턴 검사 장비 외

    생산 제품

    리니어모터

    수직위치결정 스테이지
    JTMZ10/20
    미니스테이지
    JSAH Series
    공심형
    JTKL Series
    아크모터
    JTKA Series
    철심형
    JTKC Series

    DD모터

    로터리 DD모터
    JTR15 Series
    로터리 DD모터
    JTR11 Series
    로터리 DD모터
    JTR24 Series
    로터리 DD모터
    JTR16 Series
    로터리 DD모터
    JTR30 Series
    Roll Feeder용 로타리 DD모터
    로터리 DD모터
    JTR15T Series

    모션 스테이지

    Gen. 4 XYZ Ceramic 에어베어링 스테이지
    Gen. 5.5 XYT 평면 에어베어링 스테이지
    XY 평면(Co-planar) 에어베어링 스테이지
    XYZP 수직 Ceramic 에어베어링 스테이지
    Gen. 6 Planar 에어베어링 스테이지
    Gen. 7.5 에어베어링 스테이지
    Gen. 4.5 Hybrid 에어베어링 스테이지
    에어베어링 스테이지 - 갠트리, 하이브리드, 크로스타입
    LM가이드 스테이지 - Frame base Gantry Stage
    LM가이드 스테이지 - Acu-Positioner Ⅱ
    ACPⅡ Series
    LM가이드 스테이지 - Acu-Positioner Ⅲ
    ACPⅢ Series
    LM가이드 스테이지 - Cross Stage
    LM가이드 스테이지 - Gen. 8 High Acceleration Gantry Stage
    LM가이드 스테이지 - Gen. 5.5 Gantry Stage
    LM가이드 스테이지 - Gen. 8 Dual Gantry Stage
    LM가이드 스테이지 - Multi-Mover Dual Gantry Stage
    LM가이드 스테이지 - 300mm Wafer Cross Stage
    LM가이드 스테이지 - Water Proof Linear Motor
    LM가이드 스테이지 - High Acceleration Cross Stage
    LM가이드 스테이지 - Mini Multi Head Linear Motor
    LM가이드 스테이지 - 갠트리, 하이브리드, 크로스타입

    드라이버 / 앰프

    JSMD-02/03
    JSMD-02D/03D/04D
    JSMD-02M/03M/04M

    Unipolator

    JTED-500/1000

    옵티컬 컴포넌트

    대구경 미러
    일반 미러
    일반 미러