(주)져스텍
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Gen. 6 Planar 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Specification
|
축 |
X₁, X₂ |
Y |
| 작업영역 |
2,100mm |
400mm |
| 가이드 |
Air bearing |
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| 부하질량 |
250kg |
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| 속도 |
800m/sec |
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| 가속도 |
2m/sec² |
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| 위치정밀도(보정후) |
4㎛ |
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| 반복정밀도 |
±1㎛ |
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| 옵션사양 |
Theta axis |
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| 응용분야 |
LCD 패턴 검사 장비 외 |
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