(주)져스텍
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XYZP 수직 Ceramic 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Specification
|
축 |
X(Scan) |
Y(Step) |
| 작업영역 |
700mm |
800mm |
| 가이드 |
Ceramic air bearing |
Air bearing |
| 부하질량 |
100kg |
- |
| 가속도 |
2m/sec² |
|
| 위치정밀도(보정후) |
±0.3㎛ |
±1.1㎛ |
| 반복정밀도 |
±0.2㎛ |
±0.2㎛ |
| 진직도 |
1.8㎛ |
2.4㎛ |
| 응용분야 |
Photo mask 검사 장비 |
|