(주)져스텍
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XY 평면(Co-planar) 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Description
부하가 XY 평면상에서 지지됨으로써 XY 적층 구조의 스테이지에서 보이는 부하위치에 따른 변형이 적어 기구적 안정성이 우수하며 낮은 높이로 구현이 가능합니다. 또한 수직Z축과 회전 T축이 추가되면 다양한 모션의 구현이 가능합니다.
Specification
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축 |
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| 작업영역 |
520mm X 520mm X 6mm(Z) X 360deg(T) |
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| 가이드 |
Air bearing |
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| 부하질량 |
20kg |
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| 가속도 |
2m/sec² |
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| 위치정밀도(보정후) |
1㎛ |
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| 반복정밀도 |
±0.5㎛ |
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| 속도리플 |
0.1%, at 100mm/sec |
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| T축, Z축 |
DD모터, wedge type |
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| 응용분야 |
Solar cell, Wafer 장비 등 |
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