Chat with us, powered by LiveChat Gen. 5.5 XYT 평면 에어베어링 스테이지 | (주)져스텍 - 코머신
제품명 Gen. 5.5 XYT 평면 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈 모션 스테이지
카탈로그
제품소개

Specification

X₁, X₂

Y

작업영역

800mm

920mm

가이드

Air bearing

부하질량

200kg/T축

속도

0.5m/sec

가속도

1m/sec²

위치정밀도(보정후)

2㎛

반복정밀도

±1㎛

진직도

6㎛

-

속도리플

0.1%, at 0.1m/sec

T축

Ball screw & R guide ±3degree

응용분야

레이저 가공, LCD 패턴검사

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모션 스테이지