(주)져스텍
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Gen. 5.5 XYT 평면 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Specification
|
축 |
X₁, X₂ |
Y |
| 작업영역 |
800mm |
920mm |
| 가이드 |
Air bearing |
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| 부하질량 |
200kg/T축 |
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| 속도 |
0.5m/sec |
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| 가속도 |
1m/sec² |
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| 위치정밀도(보정후) |
2㎛ |
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| 반복정밀도 |
±1㎛ |
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| 진직도 |
6㎛ |
- |
| 속도리플 |
0.1%, at 0.1m/sec |
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| T축 |
Ball screw & R guide ±3degree |
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| 응용분야 |
레이저 가공, LCD 패턴검사 |
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