(주)져스텍
제품 상세 설명
Description
세라믹 재질의 에어베어링 가이드는 화강석 재질에 비하여 진직도가 우수하고, 고강성으로 변형이 적으며, 흡수율이 작으므로 경년변화가 적고 치수 안정성이 뛰어납니다.
에어베어링 스테이지는 고정밀도가 요구되는 시스템에 적합합니다.
Specification
축 |
X₁, X₂ |
Y |
작업영역 |
800mm |
920mm |
가이드 |
Granite air bearing |
Ceramic air bearing |
부하질량 |
30kg/Z축 |
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속도 |
500mm/sec |
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가속도 |
5m/sec² |
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위치정밀도(보정후) |
±0.3㎛ |
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반복정밀도 |
±0.1㎛ |
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정지안정성 |
±0.05㎛ |
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응용분야 |
초정밀 길이 측정장비 |