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Gen. 4 XYZ Ceramic 에어베어링 스테이지
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Description
세라믹 재질의 에어베어링 가이드는 화강석 재질에 비하여 진직도가 우수하고, 고강성으로 변형이 적으며, 흡수율이 작으므로 경년변화가 적고 치수 안정성이 뛰어납니다.
에어베어링 스테이지는 고정밀도가 요구되는 시스템에 적합합니다.
Specification
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축 |
X₁, X₂ |
Y |
| 작업영역 |
800mm |
920mm |
| 가이드 |
Granite air bearing |
Ceramic air bearing |
| 부하질량 |
30kg/Z축 |
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| 속도 |
500mm/sec |
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| 가속도 |
5m/sec² |
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| 위치정밀도(보정후) |
±0.3㎛ |
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| 반복정밀도 |
±0.1㎛ |
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| 정지안정성 |
±0.05㎛ |
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| 응용분야 |
초정밀 길이 측정장비 |
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