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LM가이드 스테이지 - Multi-Mover Dual Gantry Stage

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시리즈

모션 스테이지


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제품 상세 설명

Description

- Stroke : 2,100mm×2,100mm
- In-position stability : ±0.05㎛
- Repeatability :±1㎛

 

Specification

X₁~ X₄

Y₁~ Y12

작업영역

2,100mm

2,100mm

가이드

LM 베어링

부하질량

40kg(Head)

속도

500mm/sec

가속도

1m/sec²

위치정밀도(보정후)

10㎛

반복정밀도

±1㎛

옵션사양  
응용분야

LCD 높이 측정 장비 외

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