(주)져스텍
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LM가이드 스테이지 - Gen. 5.5 Gantry Stage
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Description
- Stroke : 2,110mm×1,650mm
- Accuracy : 2㎛
- Repeatability :±1㎛
- Glass lifting & illumination axis(option)
Specification
|
축 |
X₁, X₂ |
Y |
| 작업영역 |
1,900mm |
1,600mm |
| 가이드 |
LM 베어링 |
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| 부하질량 |
30kg(Head) |
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| 속도 |
500mm/sec |
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| 가속도 |
2m/sec² |
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| 위치정밀도(보정후) |
2㎛ |
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| 반복정밀도 |
±1㎛ |
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| 옵션사양 |
Glass lifting & illumination axis |
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| 응용분야 |
LCD 두께, 높이 측정 장비 외 |
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